Vlastnosti a výhody
1.Presné rozmery a tepelná stabilita
2.Vysoká špecifická tuhosť a vynikajúca tepelná rovnomernosť, dlhodobé používanie nie je ľahké ohýbať deformáciu;
3.Má hladký povrch a dobrú odolnosť proti opotrebeniu, takže bezpečne manipuluje s čipom bez kontaminácie časticami.
4.merný odpor karbidu kremíka 106-108Ω, nemagnetický, v súlade s požiadavkami špecifikácie anti-ESD;Dokáže zabrániť hromadeniu statickej elektriny na povrchu čipu
5. Dobrá tepelná vodivosť, nízky koeficient rozťažnosti.