Epitaxné časti MOCVD

Grafitový susceptor s povlakom z karbidu kremíka, 8-palcový nosič plátku
19 kusov dielov zariadenia MOCVD s 2-palcovou grafitovou základňou
Grafitový susceptor s povlakom z karbidu kremíka, 6 kusov 6-palcových plátkových nosičov
Polovodičový monokryštalický kremíkový epitaxný disk potiahnutý SiC
Disk z karbidu kremíka pre MOCVD
Antioxidačná miska MOCVD s vysokou čistotou SiC
41 kusov dielov zariadenia MOCVD so 4-palcovou grafitovou základňou
36 kusov dielov zariadenia MOCVD so 4 palcovou grafitovou základňou
Modrá/zelená LED epitaxia
Proces s povlakom SiC pre grafitové nosiče s povlakom SiC
Epitaxia GaN na báze kremíka