Aplikácia keramiky z karbidu kremíka v oblasti polovodičov

Polovodiče:

Polovodičový priemysel sa riadi priemyselným zákonom „jednej generácie technológie, jednej generácie procesu a jednej generácie zariadení“ a modernizácia a iterácia polovodičových zariadení do značnej miery závisí od technologického prielomu presných dielov. Medzi nimi sú presné keramické diely najreprezentatívnejšími materiálmi pre presné polovodičové diely, ktoré majú dôležité aplikácie v sérii hlavných výrobných prepojení polovodičov, ako je chemické nanášanie pár, fyzikálne naparovanie, implantácia iónov a leptanie. Ako sú ložiská, vodiace lišty, obloženia, elektrostatické skľučovadlá, mechanické manipulačné ramená atď. Najmä vo vnútri dutiny zariadenia zohrávajú úlohu podpory, ochrany a odklonu.

640

Od roku 2023 aj Holandsko a Japonsko postupne vydávali nové nariadenia alebo dekréty o zahraničnom obchode o kontrole, pridávali nariadenia o vývozných licenciách pre polovodičové zariadenia vrátane litografických strojov a postupne sa objavil trend antiglobalizácie polovodičov. Dôležitosť nezávislej kontroly dodávateľského reťazca je čoraz významnejšia. Tvárou v tvár dopytu po lokalizácii dielov polovodičových zariadení domáce spoločnosti aktívne podporujú priemyselný rozvoj. Zhongci Electronics realizovala lokalizáciu high-tech presných dielov, ako sú vykurovacie platne a elektrostatické skľučovadlá, čím vyriešila problém „úzkych miest“ v priemysle domácich polovodičových zariadení; Dezhi New Materials, popredný domáci dodávateľ grafitových základov potiahnutých SiC a leptacích krúžkov SiC, úspešne dokončil financovanie vo výške 100 miliónov juanov atď.
Keramické substráty z nitridu kremíka s vysokou vodivosťou:

Keramické substráty z nitridu kremíka sa používajú hlavne v pohonných jednotkách, polovodičových zariadeniach a invertoroch čistých elektrických vozidiel (EV) a hybridných elektrických vozidiel (HEV) a majú obrovský trhový potenciál a aplikačné vyhliadky.

640 (1)

V súčasnosti keramické substrátové materiály z nitridu kremíka s vysokou tepelnou vodivosťou pre komerčné aplikácie vyžadujú tepelnú vodivosť ≥85 W/(m·K), pevnosť v ohybe ≥650MPa a lomovú húževnatosť 5~7MPa·m1/2. Spoločnosti, ktoré skutočne dokážu hromadne vyrábať keramické substráty z nitridu kremíka s vysokou tepelnou vodivosťou, sú najmä Toshiba Group, Hitachi Metals, Japan Electric Chemical, Japan Maruwa a Japan Fine Ceramics.

Určitý pokrok zaznamenal aj domáci výskum keramických substrátových materiálov z nitridu kremíka. Tepelná vodivosť keramického substrátu z nitridu kremíka pripraveného procesom odlievania pásky v Pekingskej pobočke spoločnosti Sinoma High-Tech Nitride Ceramics Co., Ltd. je 100 W/(m·K); Beijing Sinoma Artificial Crystal Research Institute Co., Ltd. úspešne pripravil keramický substrát z nitridu kremíka s pevnosťou v ohybe 700-800MPa, lomovou húževnatosťou ≥8MPa·m1/2 a tepelnou vodivosťou ≥80W/(m·K) optimalizáciou spôsobu a procesu spekania.


Čas odoslania: 29. októbra 2024