Všetky tenké vrstvy používané pri výrobe polovodičov majú odpor a odpor filmu má priamy vplyv na výkon zariadenia. Absolútny odpor fólie zvyčajne nemeriame, ale na jej charakterizáciu používame plošný odpor.
Čo je plošný odpor a objemový odpor?
Objemový odpor, tiež známy ako objemový odpor, je prirodzenou vlastnosťou materiálu, ktorá charakterizuje, do akej miery materiál bráni toku elektrického prúdu. Bežne používaný symbol ρ predstavuje, jednotkou je Ω.
Listový odpor, tiež známy ako listový odpor, anglický názov je plošný odpor, ktorý sa vzťahuje na hodnotu odporu filmu na jednotku plochy. Bežne používané symboly Rs alebo ρs na vyjadrenie, jednotka je Ω/sq alebo Ω/□
Vzťah medzi nimi je: odpor plechu = objemový odpor/hrúbka filmu, to znamená Rs =ρ/t
Prečo merať odpor plechu?
Meranie absolútneho odporu fólie vyžaduje presnú znalosť geometrických rozmerov fólie (dĺžka, šírka, hrúbka), ktorá má mnoho premenných a je veľmi komplexná pre veľmi tenké alebo nepravidelne tvarované fólie. Odpor plechu súvisí iba s hrúbkou fólie a možno ho rýchlo a priamo otestovať bez zložitých výpočtov veľkosti.
Ktoré fólie potrebujú merať plošný odpor?
Vo všeobecnosti sa vodivé filmy a polovodičové filmy musia merať na štvorcový odpor, zatiaľ čo izolačné filmy sa nemusia merať.
Pri dopovaní polovodičov sa meria aj plošný odpor kremíka.
Ako merať štvorcový odpor?
Metóda štyroch sond sa všeobecne používa v priemysle. Metóda štyroch sond môže merať štvorcový odpor v rozsahu od 1E-3 do 1E+9Ω/sq. Metóda štyroch sond môže zabrániť chybám merania spôsobeným prechodovým odporom medzi sondou a vzorkou.
Metódy merania:
1) Položte štyri lineárne usporiadané sondy na povrch vzorky.
2) Aplikujte konštantný prúd medzi dve vonkajšie sondy.
3) Stanovte odpor meraním potenciálneho rozdielu medzi dvoma vnútornými sondami
RS: plošný odpor
ΔV: Zmena napätia nameraná medzi vnútornými sondami
I : Prúd aplikovaný medzi vonkajšie sondy
Čas odoslania: 29. marca 2024