Proces suchého leptania zvyčajne pozostáva zo štyroch základných stavov: pred leptaním, čiastočným leptaním, jednoduchým leptaním a preleptaním. Hlavnými charakteristikami sú rýchlosť leptania, selektivita, kritický rozmer, uniformita a detekcia koncového bodu. Obrázok 1 Pred leptaním Obrázok 2 Čiastočné leptanie Obrázok...
Prečítajte si viac