Ako vyrábame kroky spracovania substrátov SiC sú nasledovné:
1. Orientácia kryštálu: Použitie röntgenovej difrakcie na orientáciu ingotu kryštálu. Keď je rôntgenový lúč nasmerovaný na požadovanú plochu kryštálu, uhol difraktovaného lúča určuje orientáciu kryštálu.
2. Mletie vonkajšieho priemeru: Monokryštály pestované v grafitových téglikoch často presahujú štandardné priemery. Brúsenie vonkajšieho priemeru ich redukuje na štandardné veľkosti.
3. Koncové brúsenie: 4-palcové 4H-SiC substráty majú zvyčajne dve polohovacie hrany, primárnu a sekundárnu. Brúsenie čelnej plochy otvára tieto polohovacie hrany.
4. Rezanie drôtom: Rezanie drôtom je rozhodujúcim krokom pri spracovaní 4H-SiC substrátov. Trhliny a podpovrchové poškodenia spôsobené počas pílenia drôtom negatívne ovplyvňujú následné procesy, predlžujú čas spracovania a spôsobujú straty materiálu. Najbežnejšou metódou je viacdrôtové pílenie diamantovým brusivom. Na rezanie ingotu 4H-SiC sa používa vratný pohyb kovových drôtov spojených diamantovými brusivami.
5. Zrážanie hrán: Aby sa predišlo vylamovaniu hrán a znížili sa straty spotrebného materiálu počas následných procesov, ostré hrany triesok rezaných drôtom sa zrazia do určených tvarov.
6. Riedenie: Drôtové pílenie zanecháva veľa škrabancov a podpovrchových poškodení. Riedenie sa vykonáva pomocou diamantových kotúčov, aby sa tieto chyby čo najviac odstránili.
7. Brúsenie: Tento proces zahŕňa hrubé brúsenie a jemné brúsenie s použitím menších brúsnych materiálov z karbidu bóru alebo diamantových brusív na odstránenie zvyškových poškodení a nových poškodení vzniknutých počas riedenia.
8. Leštenie: Posledné kroky zahŕňajú hrubé leštenie a jemné leštenie s použitím abrazív na báze oxidu hlinitého alebo oxidu kremičitého. Leštiaca kvapalina zmäkčuje povrch, ktorý je následne mechanicky odstránený abrazívami. Tento krok zaisťuje hladký a nepoškodený povrch.
9. Čistenie: Odstraňovanie častíc, kovov, oxidových filmov, organických zvyškov a iných kontaminantov, ktoré zostali z krokov spracovania.
Čas odoslania: 15. mája 2024