Čo je MOCVD susceptor?

TheMOCVDmetóda je jedným z najstabilnejších procesov, ktoré sa v súčasnosti v priemysle používajú na pestovanie vysokokvalitných monokryštalických tenkých vrstiev, ako sú jednofázové epivrstvy InGaN, materiály III-N a polovodičové filmy so štruktúrou viacerých kvantových vrtov, a má veľký význam v výroba polovodičových a optoelektronických zariadení.

TheSiC povlak MOCVD susceptorje špecializovaný držiak doštičiek potiahnutý karbidom kremíka (SiC) preepitaxné rast v procese organickej chemickej parnej depozície kovov (MOCVD).

Povlak SiC má vynikajúcu chemickú odolnosť a tepelnú stabilitu, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre MOCVD susceptory používané v náročných procesoch epitaxného rastu.

Kľúčovým komponentom procesu MOCVD je susceptor, ktorý je kľúčovým prvkom na zabezpečenie rovnomernosti a kvality vyrobených tenkých vrstiev.

Čo je susceptor? Susceptor je špecializovaný komponent používaný v procese MOCVD na podporu a ohrev substrátu, na ktorý je nanesený tenký film. Má viacero funkcií, vrátane absorbovania elektromagnetickej energie, jej premeny na teplo a rovnomerného rozloženia tepla na substráte. Toto rovnomerné zahrievanie je nevyhnutné pre rast rovnomerných tenkých vrstiev s presnou hrúbkou a zložením.

Typy susceptorov:
1. Grafitové susceptory: Grafitové susceptory sú často potiahnuté ochrannou vrstvou ako napr.karbid kremíka (SiC), ktorý je známy svojou vysokou tepelnou vodivosťou a stabilitou. TheSiC povlakposkytuje tvrdý ochranný povrch, ktorý odoláva korózii a degradácii pri vysokých teplotách.

2. Susceptory z karbidu kremíka (SiC): Tieto susceptory sú vyrobené výlučne z SiC a majú vynikajúcu tepelnú stabilitu a odolnosť proti opotrebovaniu. SiC susceptory sú obzvlášť vhodné pre vysokoteplotné procesy a korozívne prostredie.

Ako fungujú susceptory v MOCVD:

V procese MOCVD sa prekurzory zavádzajú do reakčnej komory, kde sa rozkladajú a reagujú za vzniku tenkého filmu na substráte. Susceptor zohráva dôležitú úlohu tým, že zabezpečuje rovnomerné zahrievanie substrátu, čo je rozhodujúce pre dosiahnutie konzistentných vlastností filmu na celom povrchu substrátu. Materiál a dizajn susceptora sú starostlivo vybrané tak, aby spĺňali špecifické požiadavky procesu nanášania, ako je teplotný rozsah a chemická kompatibilita.

Výhody použitia vysokokvalitných susceptorov:
• Vylepšená kvalita filmu: Poskytnutím rovnomernej distribúcie tepla pomáha susceptor dosiahnuť filmy s konzistentnou hrúbkou a zložením, čo je rozhodujúce pre výkon polovodičových zariadení.
• Zlepšená efektivita procesu: Vysokokvalitné susceptory zvyšujú celkovú efektivitu MOCVD procesu znížením pravdepodobnosti defektov a zvýšením výťažnosti použiteľných filmov.
• Životnosť a spoľahlivosť: Susceptory vyrobené z odolných materiálov, ako je SiC, zaisťujú dlhodobú spoľahlivosť a znižujú náklady na údržbu.

Susceptor je integrálnou súčasťou procesu MOCVD a priamo ovplyvňuje kvalitu a účinnosť nanášania tenkých vrstiev. Pre viac informácií o dostupných veľkostiach, MOCVD susceptoroch a cenách nás prosím neváhajte kontaktovať. Naši inžinieri vám radi poradia s vhodnými materiálmi a odpovedia na všetky vaše otázky.

Telefón: +86-13373889683
WhatsAPP: +86-15957878134
Email: sales01@semi-cera.com