Zavedenie nosiča doštičiek
KATEGÓRIA PRODUKTOV
▶Systém nosiča plátkov pre proces PECVD a TALOX
• PECVD & TALOX grafitový čln (M4~M12)
• Vertikálny SM-Boat (M4, M6)
• Implantát a sprchový grafitový diel (M4~M6)
• C/C zásobník a keramický povlak
• Kovový RIE-Tray & Keramický náter
• Vákuové tesnenie: O-krúžok a SQ-krúžok
▶Proces prenosu textúry a mokrého leptania
• LSC H-nosič alebo kazeta (M4~M12)
• LSC V-nosič alebo kazeta (M4~M12)
• ASC nosič alebo kazeta (M4, M6)
• W/F nosič a úložný box (M4~M12)
• Séria transportných kolies (roller).
▶Nosič solárnych článkov a kovový nosič
• Nosič TRC alebo kazeta (M4~M12)
• Zásobník (s PÁSKOM)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
19P6-216CT (WF M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
21P6-240CT WF M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
23P7-308CT(W/F M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
22P/7-294TP (W/F M4~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (Typ H)
W182-22P7-294CT (W/F M12)
W182-21P6-240CT (W/F M12)
WF NOSIČ A ÚLOŽNÁ SKRA (~ M12)
C/C TRAY alebo CARRIER (M4~M10)
C/C TRAY alebo CARRIER (M4~M10)
VERTIKÁLNA LOĎ (SM) M6
LSC-H-CARRIER(~M12)
LSC-V-CARRIER(~M12)
ASC CARRIER (~M6)
TRC CARRIER(~M12)
TRC CARRIER(~M12)
GRAFITOVÁ LOĎ (M12)
Systém nosiča plátkov pre proces PECVD
▶ GRAFITOVÁ LOĎ (navrhnutá CT) Proces M10/M12
• ŠPECIÁLNY KONCEPCIA DIZAJNU
▶ GRAFITOVÁ LOĎ (navrhnutá CT) Proces M4/M6
▶ Časti príslušenstva ČLNA
▶ VERTIKÁLNA LOĎKA-161,7 mm PLÁTKA
▶ VERTIKÁLNA LOĎKA-166mm PLÁTKA
▶ VERTIKÁLNA LOĎKA-161,7 mm, 166 mm PLÁTKA
Nosič solárnych článkov a kovový nosič TRC
TYP: Automatizácia
VEĽKOSŤ PLÁTKY: ① 156 × 156 mm ② 156,75 × 156,75 mm
③161,7x161,7MM ④166x166MM
⑤ 180 × 180 mm ⑥ 210 × 210 mm
POUŽITIE: Prenášanie (kazeta)
KAPACITA: 100 listov
ROZTEČ: 4,76 mm/5,953 mm/6,35 mm
ROZMERY: Cca 559 × 220 × 220 mm
Cca 712 × 260 × 260 mm
VÝHODA: Atmosféra
MATERIÁL: PLAMEŇ,BOČNÁ LIŠTA-hliník (eloxovanie)
BOČNÁ DOSKA-POM (antistatická)
Kryt spodnej lišty-EPDM/PU/VITON (ASE)
TRC-KOVOVÝ NOSIČ (POUŽÍVATEĽSKÁ LINKA)
TRC-KOVOVÝ NOSIČ (POUŽÍVATEĽSKÁ LINKA)
TRC-KOVOVÝ NOSIČ (POUŽÍVATEĽSKÁ LINKA)
SPRCHOVÁ DOSKA A IMPLANTÁT, NOSIČ
