Semicera's10 x 10 mm nepolárny hliníkový substrát M-planeje starostlivo navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky pokročilých optoelektronických aplikácií. Tento substrát sa vyznačuje nepolárnou orientáciou v rovine M, ktorá je rozhodujúca pre zníženie polarizačných efektov v zariadeniach, ako sú LED a laserové diódy, čo vedie k zvýšenému výkonu a účinnosti.
The10 x 10 mm nepolárny hliníkový substrát M-planeje vyrobený s výnimočnou kryštalickou kvalitou, ktorá zaisťuje minimálnu hustotu defektov a vynikajúcu štrukturálnu integritu. To z neho robí ideálnu voľbu pre epitaxný rast vysokokvalitných III-nitridových filmov, ktoré sú nevyhnutné pre vývoj optoelektronických zariadení novej generácie.
Presné inžinierstvo spoločnosti Semicera zaisťuje, že každý10 x 10 mm nepolárny hliníkový substrát M-planeponúka konzistentnú hrúbku a rovinnosť povrchu, ktoré sú rozhodujúce pre rovnomerné nanášanie filmu a výrobu zariadenia. Navyše, kompaktná veľkosť substrátu ho robí vhodným pre výskumné aj výrobné prostredie, čo umožňuje flexibilné použitie v rôznych aplikáciách. Vďaka svojej vynikajúcej tepelnej a chemickej stabilite poskytuje tento substrát spoľahlivý základ pre vývoj špičkových optoelektronických technológií.
| Položky | Výroba | Výskum | Dummy |
| Parametre kryštálu | |||
| Polytyp | 4H | ||
| Chyba orientácie povrchu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrické parametre | |||
| Dopant | dusík typu n | ||
| Odpor | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanické parametre | |||
| Priemer | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Hrúbka | 350±25 μm | ||
| Primárna orientácia bytu | [1-100] ± 5° | ||
| Primárna plochá dĺžka | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Vedľajší byt | žiadne | ||
| TTV | ≤ 5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤ 10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Poklona | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Predná (Si-face) drsnosť (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Štruktúra | |||
| Hustota mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovové nečistoty | ≤5E10atómov/cm2 | NA | |
| BPD | ≤ 1500 ea/cm2 | ≤ 3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤ 500 ea/cm2 | ≤ 1000 ea/cm2 | NA |
| Predná kvalita | |||
| Predné | Si | ||
| Povrchová úprava | Si-face CMP | ||
| Častice | ≤ 60 ea/wafer (veľkosť ≥ 0,3 μm) | NA | |
| Škrabance | ≤5 ea/mm. Kumulatívna dĺžka ≤ Priemer | Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA |
| Pomarančová kôra/jamky/škvrny/ryhy/praskliny/kontaminácia | žiadne | NA | |
| Hranové triesky/vruby/lomy/šesťhranné platne | žiadne | ||
| Polytypové oblasti | žiadne | Kumulatívna plocha ≤ 20 % | Kumulatívna plocha ≤ 30 % |
| Predné laserové označenie | žiadne | ||
| Kvalita chrbta | |||
| Zadná úprava | C-tvár CMP | ||
| Škrabance | ≤ 5 ea / mm, Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA | |
| Chyby na zadnej strane (okrajové úlomky/preliačiny) | žiadne | ||
| Drsnosť chrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Zadné laserové značenie | 1 mm (od horného okraja) | ||
| Edge | |||
| Edge | Skosenie | ||
| Balenie | |||
| Balenie | Epi-ready s vákuovým balením Balenie kaziet s viacerými oblátkami | ||
| *Poznámky： "NA" znamená bez požiadavky. Položky, ktoré nie sú uvedené, môžu odkazovať na SEMI-STD. | |||
