Semicera 2~6 palcové 4° off-uhle P-type 4H-SiC substráty sú navrhnuté tak, aby vyhovovali rastúcim potrebám výrobcov vysokovýkonných napájacích a RF zariadení. Orientácia 4° mimo uhlu zaisťuje optimalizovaný epitaxný rast, vďaka čomu je tento substrát ideálnym základom pre celý rad polovodičových zariadení vrátane MOSFET, IGBT a diód.
Tento 2~6 palcový 4° poduhlový 4H-SiC substrát typu P má vynikajúce materiálové vlastnosti vrátane vysokej tepelnej vodivosti, vynikajúceho elektrického výkonu a vynikajúcej mechanickej stability. Orientácia mimo uhla pomáha znižovať hustotu mikropipečiek a podporuje hladšie epitaxné vrstvy, čo je rozhodujúce pre zlepšenie výkonu a spoľahlivosti konečného polovodičového zariadenia.
Semicera 2~6 palcové 4° mimouhlové 4H-SiC substráty typu P sú dostupné v rôznych priemeroch v rozmedzí od 2 palcov do 6 palcov, aby vyhovovali rôznym výrobným požiadavkám. Naše substráty sú precízne navrhnuté tak, aby poskytovali jednotné úrovne dotovania a vysokokvalitné povrchové charakteristiky, čím zaisťujú, že každý plátok spĺňa prísne špecifikácie požadované pre pokročilé elektronické aplikácie.
Záväzok spoločnosti Semicera k inováciám a kvalite zaisťuje, že naše 2~6 palcové 4° poduhlové substráty typu P 4H-SiC poskytujú konzistentný výkon v širokej škále aplikácií od výkonovej elektroniky až po vysokofrekvenčné zariadenia. Tento produkt poskytuje spoľahlivé riešenie pre ďalšiu generáciu energeticky účinných a vysokovýkonných polovodičov, ktoré podporujú technologický pokrok v odvetviach, ako je automobilový priemysel, telekomunikácie a obnoviteľná energia.
Normy súvisiace s veľkosťou
Veľkosť | 2-palcový | 4-palcový |
Priemer | 50,8 mm±0,38 mm | 100,0 mm+0/-0,5 mm |
Povrchová orentácia | 4° smerom k <11-20>±0,5° | 4° smerom k <11-20>±0,5° |
Primárna plochá dĺžka | 16,0 mm ± 1,5 mm | 32,5 mm ± 2 mm |
Sekundárna plochá dĺžka | 8,0 mm ± 1,5 mm | 18,0 mm ± 2 mm |
Primárna orientácia bytu | Paralelne <11-20>±5,0° | Paralelne<11-20>±5,0c |
Vedľajšia orientácia bytu | 90°CW od primárnej časti ± 5,0°, kremík lícom nahor | 90°CW od primárnej časti ± 5,0°, kremík lícom nahor |
Povrchová úprava | C-Face: Optical Polish, Si-Face: CMP | C-Face: OpticalPolish, Si-Face: CMP |
Oblátkový okraj | Skosenie | Skosenie |
Drsnosť povrchu | Si-Face Ra <0,2 nm | Si-Face Ra <0,2 nm |
Hrúbka | 350,0 ± 25,0 um | 350,0 ± 25,0 um |
Polytyp | 4H | 4H |
Doping | p-typu | p-typu |
Normy súvisiace s veľkosťou
Veľkosť | 6-palcový |
Priemer | 150,0 mm+0/-0,2 mm |
Orientácia povrchu | 4° smerom k <11-20>±0,5° |
Primárna plochá dĺžka | 47,5 mm ± 1,5 mm |
Sekundárna plochá dĺžka | žiadne |
Primárna orientácia bytu | Paralelne s <11-20>±5,0° |
Sekundárna Orientácia bytu | 90°CW od primárnej časti ± 5,0°, kremík lícom nahor |
Povrchová úprava | C-Face: Optical Polish, Si-Face:CMP |
Oblátkový okraj | Skosenie |
Drsnosť povrchu | Si-Face Ra <0,2 nm |
Hrúbka | 350,0±25,0μm |
Polytyp | 4H |
Doping | p-typu |