Vlastný polovodičový ICP zásobník (leptanie)

Krátky popis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. je popredným dodávateľom špecializujúcim sa na doštičky a pokročilé polovodičové spotrebné materiály.Sme odhodlaní poskytovať vysokokvalitné, spoľahlivé a inovatívne produkty pre výrobu polovodičov,fotovoltaický priemysela ďalšie súvisiace oblasti.

Naša produktová rada zahŕňa grafitové produkty potiahnuté SiC/TaC a keramické produkty, ktoré zahŕňajú rôzne materiály, ako je karbid kremíka, nitrid kremíka a oxid hlinitý atď.

Ako dôveryhodný dodávateľ chápeme dôležitosť spotrebného materiálu vo výrobnom procese a zaviazali sme sa dodávať produkty, ktoré spĺňajú najvyššie štandardy kvality, aby vyhovovali potrebám našich zákazníkov.

 

Detail produktu

Štítky produktu

Popis produktu

Naša spoločnosť poskytuje služby procesu poťahovania SiC metódou CVD na povrchu grafitu, keramiky a iných materiálov tak, že špeciálne plyny obsahujúce uhlík a kremík reagujú pri vysokej teplote za vzniku vysoko čistých molekúl SiC, molekúl usadených na povrchu poťahovaných materiálov, vytvára ochrannú vrstvu SIC.

Hlavné vlastnosti:

1. Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote:

odolnosť proti oxidácii je stále veľmi dobrá, keď je teplota až 1600 C.

2. Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár pri vysokej teplote chlorácie.

3. Odolnosť proti erózii: vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.

4. Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.

3

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC

Vlastnosti SiC-CVD

Kryštálová štruktúra

FCC β fáza

Hustota

g/cm³

3.21

Tvrdosť

Tvrdosť podľa Vickersa

2500

Veľkosť zrna

μm

2~10

Chemická čistota

%

99,99995

Tepelná kapacita

J·kg-1 ·K-1

640

Teplota sublimácie

2700

Felexurálna sila

MPa (RT 4-bodové)

415

Youngov modul

Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)

430

Tepelná expanzia (CTE)

10-6K-1

4.5

Tepelná vodivosť

(W/mK)

300


  • Predchádzajúce:
  • Ďalej: