
Vlastnosti a výhody
1.Presné rozmery a tepelná stabilita
2.Vysoká špecifická tuhosť a vynikajúca tepelná rovnomernosť, dlhodobé používanie nie je ľahké ohýbať deformáciu;
3.Má hladký povrch a dobrú odolnosť proti opotrebeniu, takže bezpečne manipuluje s čipom bez kontaminácie časticami.
4.merný odpor karbidu kremíka 106-108Ω, nemagnetický, v súlade s požiadavkami špecifikácie anti-ESD; Dokáže zabrániť hromadeniu statickej elektriny na povrchu čipu
5. Dobrá tepelná vodivosť, nízky koeficient rozťažnosti.




-
Horizontálna komorová pec z karbidu kremíka...
-
Zosilnený C/C kompozit
-
Grafitová tvrdá plsť s vysokou hustotou grafitový materiál
-
Konštrukčné diely z karbidu kremíka je možné prispôsobiť
-
Vysokokvalitné vykurovacie teleso potiahnuté karbidom kremíka...
-
Grafitová hlaveň potiahnutá karbidom kremíka pre epit...