Časti procesu leptania

Keramický povlak z karbidu kremíka
SiC povlakové nosiče pre polovodičové leptanie
SiC nosič pre rýchle tepelné spracovanie RTP/RTA
Nosič spracovania PSS na prenos polovodičových plátkov
Vlastný polovodičový ICP zásobník (leptanie)
LED etch Ložisková tácka z karbidu kremíka, ICP tácka (Etch)
Leptacia miska LED z karbidu kremíka odolná voči vysokej teplote a korózii (podnos na leptanie ICP)
Nosná doska RTA z karbidu kremíka pre polovodič
SiC kolíky pre procesy ICP leptania v priemysle LED