Grafitový susceptor s povlakom z karbidu kremíka, 6 kusov 6-palcových plátkových nosičov

Grafitový susceptor sPovlak z karbidu kremíka, 6 kusov6-palcový nosič plátkovod semicera ponúka výnimočnú odolnosť a tepelnú vodivosť pre vysokovýkonné aplikácie epitaxiálneho rastu. Semicera sa špecializuje na pokročilé susceptory určené na zlepšenie procesov ako naprSi epitaxiaaSiC epitaxia, zabezpečujúci spoľahlivý výkon v náročných polovodičových prostrediach.

Tento susceptor je špeciálne navrhnutý na použitie sSusceptor MOCVDsystémami a ponúka kompatibilitu s rôznymi nosičmi, ako sú PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier a RTP Carrier. Je ideálny pre výrobu monokryštalického kremíka a zostavy LED epitaxných susceptorov, pričom ponúka všestrannosť v rôznych konfiguráciách, vrátane dizajnov barelového susceptora a pancakového susceptora.

Grafitový susceptor s povlakom karbidu kremíka tiež podporuje aplikácie v sektore solárnej energie prostredníctvom integrácie s fotovoltaickými časťami a vyniká v procesoch GaN na SiC epitaxy. Jeho 6-palcová kapacita nosiča plátkov zaisťuje vysokú priepustnosť, vďaka čomu je základným nástrojom pre výrobcov v polovodičovom a fotovoltaickom priemysle.