Hlaveň potiahnutá poréznym karbidom tantalu s vysokou čistotou

Krátky popis:

Vysoko čistý porézny sud potiahnutý karbidom tantalu od spoločnosti Semicera je špeciálne navrhnutý pre pece na rast kryštálov karbidu kremíka (SiC). Táto hlaveň s vysoko čistým povlakom karbidu tantalu a poréznou štruktúrou poskytuje výnimočnú tepelnú stabilitu a odolnosť voči chemickej korózii. Pokročilá technológia povrchovej úpravy Semicera zaisťuje dlhotrvajúci výkon a účinnosť v procesoch rastu kryštálov SiC, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre náročné polovodičové aplikácie.


Detail produktu

Štítky produktu

Pórovitý karbid tantalu potiahnutýhlaveň je karbid tantalu ako hlavný náterový materiál, karbid tantalu má vynikajúcu odolnosť proti korózii, odolnosť proti opotrebovaniu a stabilitu pri vysokej teplote. Môže účinne chrániť základný materiál pred chemickou eróziou a atmosférou s vysokou teplotou. Základný materiál má zvyčajne vlastnosti odolnosti voči vysokej teplote a odolnosti proti korózii. Môže poskytnúť dobrú mechanickú pevnosť a chemickú stabilitu a zároveň slúžiť ako nosný základpovlak karbidu tantalu.

 

Semicera poskytuje špecializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pre rôzne komponenty a nosiče.Popredný proces povlakovania Semicera umožňuje povlakom z karbidu tantalu (TaC) dosiahnuť vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú toleranciu, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálov SIC/GAN a vrstiev EPI (Grafitom potiahnutý TaC susceptor) a predĺženie životnosti kľúčových komponentov reaktora. Použitie povlaku karbidu tantalu TaC má vyriešiť problém s okrajmi a zlepšiť kvalitu rastu kryštálov a Semicera prelomovo vyriešila technológiu povlakovania karbidu tantalu (CVD), čím dosiahla medzinárodnú pokročilú úroveň.

 

Po rokoch vývoja si Semicera podmanila technológiuCVD TaCspoločným úsilím oddelenia výskumu a vývoja. Poruchy sa ľahko vyskytujú v procese rastu doštičiek SiC, ale po použitíTaC, rozdiel je značný. Nižšie je uvedené porovnanie doštičiek s a bez TaC, ako aj častí Simicera pre rast monokryštálov.

微信图片_20240227150045

s a bez TaC

微信图片_20240227150053

Po použití TaC (vpravo)

Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek:

 
0(1)
Semicera Pracovné miesto
Semicera pracovisko 2
Zariadenie stroja
Sklad Semicera
CNN spracovanie, chemické čistenie, CVD povlak
Naša služba

  • Predchádzajúce:
  • Ďalej: