Vysoko čistý SiC nosič/susceptor

Odporúčaný obrázok nosiča/susceptora SiC s vysokou čistotou

Krátky popis:

Ložiskový kotúč z karbidu kremíka je tiež známy ako podnos SIC, leptací kotúč z karbidu kremíka, leptací kotúč ICP. Vanička z karbidu kremíka na LED leptanie (SiC tácka) φ600mm je špeciálne príslušenstvo na hlboké leptanie kremíka (ICP leptacia mašinka).

Pošlite nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Popis

Keramika z karbidu kremíka má vynikajúce mechanické vlastnosti pri izbovej teplote, ako je vysoká pevnosť, vysoká tvrdosť, vysoký modul pružnosti atď., Má tiež vynikajúcu stabilitu pri vysokých teplotách, ako je vysoká tepelná vodivosť, nízky koeficient tepelnej rozťažnosti a dobrá špecifická tuhosť a optická výkon spracovania.
Sú obzvlášť vhodné na výrobu presných keramických dielov pre zariadenia s integrovanými obvodmi, ako sú litografické stroje, používané hlavne na výrobu SiC nosiča/susceptora, SiC doštičkovej lodičky, sacieho kotúča, vodnej chladiacej platne, presného meracieho reflektora, mriežky a iných keramických konštrukčných dielov.

dopravca2

dopravca3

dopravca4

Výhody

Odolnosť voči vysokej teplote: normálne použitie pri 1800 ℃
Vysoká tepelná vodivosť: ekvivalentná s grafitovým materiálom
Vysoká tvrdosť: tvrdosť druhá po diamante, nitride bóru
Odolnosť proti korózii: silné kyseliny a zásady nemajú koróziu, odolnosť proti korózii je lepšia ako karbid volfrámu a oxid hlinitý
Nízka hmotnosť: nízka hustota, blízka hliníku
Žiadna deformácia: nízky koeficient tepelnej rozťažnosti
Odolnosť proti tepelným šokom: dokáže vydržať prudké zmeny teploty, odolávať teplotným šokom a má stabilný výkon
Nosič karbidu kremíka, ako je nosič na leptanie sic, susceptor na leptanie ICP, sa široko používa v polovodičovom CVD, vákuovom naprašovaní atď. Zákazníkom môžeme poskytnúť prispôsobené nosiče doštičiek z materiálov kremíka a karbidu kremíka na splnenie rôznych aplikácií.

Výhody

Nehnuteľnosť	Hodnota	Metóda
Hustota	3,21 g/cm3	Sink-float a rozmer
Špecifické teplo	0,66 J/g °K	Impulzný laserový blesk
Pevnosť v ohybe	450 MPa560 MPa	4-bodový ohyb, RT4 bodový ohyb, 1300°
Lomová húževnatosť	2,94 MPa m1/2	Mikroindentácia
Tvrdosť	2800	Vicker's, záťaž 500 g
Elastický modulYoungov modul	450 GPa 430 GPa	4 pt ohyb, RT4 pt ohyb, 1300 °C
Veľkosť zrna	2 – 10 um	SEM

Profil spoločnosti

WeiTai Energy Technology Co., Ltd. je popredným dodávateľom pokročilej polovodičovej keramiky a jediným výrobcom v Číne, ktorý môže súčasne poskytnúť keramiku z karbidu kremíka vysokej čistoty (najmä rekryštalizovaný SiC) a CVD SiC povlak. Okrem toho sa naša spoločnosť venuje aj keramickým poliam, ako je oxid hlinitý, nitrid hliníka, oxid zirkoničitý a nitrid kremíka atď.

Medzi naše hlavné produkty patria: leptací kotúč z karbidu kremíka, člnový vlek z karbidu kremíka, čln na doštičku z karbidu kremíka (fotovoltaický a polovodičový), rúrka pece z karbidu kremíka, konzolová lopatka z karbidu kremíka, skľučovadlá z karbidu kremíka, lúč z karbidu kremíka, ako aj povlak Ta CVCD SiC náter. Výrobky používané hlavne v polovodičovom a fotovoltaickom priemysle, ako sú zariadenia na rast kryštálov, epitaxiu, leptanie, balenie, poťahovanie a difúzne pece atď.
asi (2)