Pevné CVD diely z KARBIDU KREMÍKU sú uznávané ako primárna voľba pre RTP/EPI krúžky a bázy a diely plazmových leptových dutín, ktoré pracujú pri vysokých systémových požadovaných prevádzkových teplotách (>1500 ℃), požiadavky na čistotu sú obzvlášť vysoké (>99,9995 %) a výkon je obzvlášť dobrý, keď je odolnosť voči chemikáliám obzvlášť vysoká. Tieto materiály neobsahujú sekundárne fázy na okraji zrna, takže ich zložky produkujú menej častíc ako iné materiály. Okrem toho je možné tieto komponenty čistiť pomocou horúceho HF/HCl s malou degradáciou, čo má za následok menej častíc a dlhšiu životnosť.
