Semicera predstavuje kvalitnú zákazkukonzolové lopatky z karbidu kremíkavytvorené tak, aby pozdvihli procesy výroby polovodičov. InovatívnySiC pádlodizajn zaisťuje výnimočnú trvanlivosť a vysokú tepelnú odolnosť, čo z neho robí základný komponent pre manipuláciu s plátkami v náročných prostrediach s vysokou teplotou.
TheLopatka z karbidu kremíkaje skonštruovaný tak, aby odolal extrémnym tepelným cyklom pri zachovaní štrukturálnej integrity, čím sa zabezpečí spoľahlivá preprava plátkov počas kritických fáz výroby polovodičov. Vďaka vynikajúcej mechanickej pevnostioblátkový člnminimalizuje riziko poškodenia plátkov, čo vedie k vyšším výnosom a konzistentnej kvalite výroby.
Jedna z kľúčových inovácií v pádloch Semicera SiC spočíva v možnostiach vlastného dizajnu. Pádlo prispôsobené špecifickým výrobným potrebám ponúka flexibilitu pri integrácii s rôznymi nastaveniami zariadení, vďaka čomu je ideálnym riešením pre moderné výrobné procesy. Ľahká, ale robustná konštrukcia umožňuje jednoduchú manipuláciu a znižuje prevádzkové prestoje, čo prispieva k zlepšeniu efektívnosti výroby polovodičov.
Okrem svojich tepelných a mechanických vlastností,Lopatka z karbidu kremíkaponúka vynikajúcu chemickú odolnosť, čo mu umožňuje spoľahlivo fungovať aj v drsnom chemickom prostredí. Vďaka tomu je obzvlášť vhodný na použitie v procesoch zahŕňajúcich leptanie, nanášanie a vysokoteplotné spracovanie, kde je pre zabezpečenie vysokokvalitných výstupov rozhodujúce zachovanie integrity doštičky.
| Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
| Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
| Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie) |
| obsah SiC | > 99,96 % |
| Voľný obsah Si | < 0,1 % |
| Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Zjavná pórovitosť | < 16 % |
| Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
| Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
| Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
| Modul pružnosti | 240 GPa |
| Odolnosť voči tepelným šokom | Mimoriadne dobré |
