Semicera predstavuje vysokokvalitné polovodičekonzolové lopatky z karbidu kremíka, navrhnutý tak, aby spĺňal prísne požiadavky modernej výroby polovodičov.
Thelopatka z karbidu kremíkamá pokročilý dizajn, ktorý minimalizuje tepelnú rozťažnosť a deformáciu, vďaka čomu je vysoko spoľahlivý v extrémnych podmienkach. Jeho robustná konštrukcia ponúka zvýšenú odolnosť, znižuje riziko zlomenia alebo opotrebovania, čo je rozhodujúce pre udržanie vysokých výnosov a konzistentnej kvality výroby. Theoblátkový člndizajn sa tiež hladko integruje so štandardným zariadením na spracovanie polovodičov, čím sa zabezpečí kompatibilita a jednoduché použitie.
Jedna z výnimočných vlastností SemicerySiC pádloje jeho chemická odolnosť, ktorá mu umožňuje výnimočne dobre fungovať v prostrediach vystavených korozívnym plynom a chemikáliám. Zameranie spoločnosti Semicera na prispôsobenie umožňuje riešenia na mieru.
Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie) |
obsah SiC | > 99,96 % |
Voľný obsah Si | < 0,1 % |
Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
Zjavná pórovitosť | < 16 % |
Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
Modul pružnosti | 240 GPa |
Odolnosť voči tepelným šokom | Mimoriadne dobré |