SiC kolíkové podnosy pre ICP leptacie procesy v LED priemysle

Krátky popis:

SiC kolíkové podnosy Semicera pre ICP leptacie procesy v LED priemysle sú špeciálne navrhnuté tak, aby zvýšili efektivitu a presnosť leptacích aplikácií. Tieto podnosy sú vyrobené z vysokokvalitného karbidu kremíka a ponúkajú vynikajúcu tepelnú stabilitu, chemickú odolnosť a mechanickú pevnosť. Ideálne pre náročné podmienky výrobného procesu LED, SiC kolíkové podnosy Semicera zaisťujú rovnomerné leptanie, minimalizujú kontamináciu a zlepšujú celkovú spoľahlivosť procesu, čo prispieva k vysokokvalitnej výrobe LED.


Detail produktu

Štítky produktu

Popis produktu

Naša spoločnosť poskytuje služby procesu poťahovania SiC metódou CVD na povrchu grafitu, keramiky a iných materiálov tak, že špeciálne plyny obsahujúce uhlík a kremík reagujú pri vysokej teplote za vzniku vysoko čistých molekúl SiC, molekúl usadených na povrchu poťahovaných materiálov, vytvára ochrannú vrstvu SIC.

Hlavné vlastnosti:

1. Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote:

odolnosť proti oxidácii je stále veľmi dobrá, keď je teplota až 1600 C.

2. Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár pri vysokej teplote chlorácie.

3. Odolnosť proti erózii: vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.

4. Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.

Leptaný kotúč z karbidu kremíka (2)

Hlavné špecifikácie povlaku CVD-SIC

Vlastnosti SiC-CVD

Kryštálová štruktúra

FCC β fáza

Hustota

g/cm³

3.21

Tvrdosť

Tvrdosť podľa Vickersa

2500

Veľkosť zrna

μm

2~10

Chemická čistota

%

99,99995

Tepelná kapacita

J·kg-1 ·K-1

640

Teplota sublimácie

2700

Felexurálna sila

MPa (RT 4-bodové)

415

Youngov modul

Gpa (4pt ohyb, 1300 ℃)

430

Tepelná expanzia (CTE)

10-6K-1

4.5

Tepelná vodivosť

(W/mK)

300

Semicera Pracovné miesto
Semicera pracovisko 2
Zariadenie stroja
CNN spracovanie, chemické čistenie, CVD povlak
Naša služba

  • Predchádzajúce:
  • Ďalej: