Izostatický PECVD grafitový čln

Odporúčaný obrázok izostatického grafitového člna PECVD

Krátky popis:

Izostatický grafitový čln PECVD je široko používaný v rôznych spojoch výroby polovodičov, ako je nanášanie polysilikónového filmu, nanášanie oxidového filmu, nanášanie nitridového filmu atď. Jeho vynikajúci výkon z neho robí ideálny nosič plátkov v procese PECVD.

Pošlite nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Izostatický grafitový čln SEMICERA PECVD je vysoko čistý grafitový produkt s vysokou hustotou určený na podporu plátkov v procese PECVD (plazma zosilnená chemická depozícia). SEMICERA využíva pokročilú technológiu izostatického lisovania, aby zabezpečila, že grafitový čln má vynikajúcu odolnosť voči vysokej teplote, odolnosť proti korózii, rozmerovú stabilitu a dobrú tepelnú vodivosť, čo je nepostrádateľný spotrebný materiál v procese výroby polovodičov.

Izostatický grafitový čln SEMICERA PECVD má nasledujúce výhody:

▪ Vysoká čistota: Grafitový materiál má vysokú čistotu a nízky obsah nečistôt, aby sa zabránilo kontaminácii povrchu plátku.

▪ Vysoká hustota: Vysoká hustota, vysoká mechanická pevnosť, odoláva vysokej teplote a vysokému vákuu.

▪ Dobrá rozmerová stabilita: Malá rozmerová zmena pri vysokej teplote na zabezpečenie stability procesu.

▪ Vynikajúca tepelná vodivosť: Účinne prenáša teplo, aby sa zabránilo prehriatiu plátku.

▪ Silná odolnosť proti korózii: Schopný odolávať erózii rôznymi korozívnymi plynmi a plazmou.

Výkonnostný parameter	semicera	SGL R6510	Výkonnostný parameter
Objemová hmotnosť (g/cm3)	1,91	1,83	1,85
Pevnosť v ohybe (MPa)	63	60	49
Pevnosť v tlaku (MPa)	135	130	103
Tvrdosť Shore (HS)	70	64	60
Koeficient tepelnej rozťažnosti（10-6/K）	85	105	130
Koeficient tepelnej rozťažnosti（10-6/K）	5,85	4.2	5.0
Odpor (μΩm)	11-13	13	10

Výhody výberu nás:
▪ Výber materiálu: Na zabezpečenie kvality produktu sa používajú vysoko čisté grafitové materiály.
▪ Technológia spracovania: Izostatické lisovanie sa používa na zabezpečenie hustoty a rovnomernosti produktu.
▪ Prispôsobenie veľkosti: Grafitové člny rôznych veľkostí a tvarov je možné prispôsobiť podľa potrieb zákazníka.
▪ Povrchová úprava: K dispozícii sú rôzne metódy povrchovej úpravy, ako je nanášanie karbidu kremíka, nitridu bóru atď., aby sa splnili rôzne procesné požiadavky.