Polovodičový priemysel je svedkom bezprecedentného rastu, najmä v oblastikarbid kremíka (SiC)výkonovej elektroniky. S mnohými vo veľkom meradleoblátkaFabriky prechádzajú výstavbou alebo rozširovaním, aby uspokojili rastúci dopyt po SiC zariadeniach v elektrických vozidlách, tento boom predstavuje pozoruhodné príležitosti na rast zisku. Prináša však aj jedinečné výzvy, ktoré si vyžadujú inovatívne riešenia.
Základom zvyšovania globálnej výroby čipov SiC je výroba vysokokvalitných kryštálov SiC, doštičiek a epitaxných vrstiev. tupolovodičový grafitmateriály zohrávajú kľúčovú úlohu, uľahčujú rast kryštálov SiC a ukladanie epitaxných vrstiev SiC. Tepelná izolácia a inertnosť grafitu z neho robia preferovaný materiál, ktorý sa vo veľkej miere používa v téglikoch, podstavcoch, planetárnych diskoch a satelitoch v rámci systémov rastu kryštálov a epitaxie. Napriek tomu tvrdé podmienky procesu predstavujú významnú výzvu, čo vedie k rýchlej degradácii grafitových komponentov a následne k zamedzeniu výroby vysoko kvalitných kryštálov SiC a epitaxných vrstiev.
Výroba kryštálov karbidu kremíka zahŕňa extrémne drsné podmienky procesu, vrátane teplôt presahujúcich 2000 °C a vysoko korozívnych plynných látok. To často vedie k úplnej korózii grafitových téglikov po niekoľkých procesných cykloch, čím sa zvyšujú výrobné náklady. Navyše drsné podmienky menia povrchové vlastnosti grafitových komponentov, čo ohrozuje opakovateľnosť a stabilitu výrobného procesu.
S cieľom efektívne bojovať proti týmto výzvam sa technológia ochranných náterov ukázala ako zásadná zmena. Ochranné nátery na bázekarbid tantalu (TaC)boli zavedené na riešenie problémov degradácie grafitových komponentov a nedostatku dodávok grafitu. TaC materiály vykazujú teplotu topenia presahujúcu 3800°C a výnimočnú chemickú odolnosť. Využitie technológie chemického nanášania pár (CVD),TaC povlakys hrúbkou až 35 milimetrov je možné bezproblémovo nanášať na grafitové komponenty. Táto ochranná vrstva nielenže zvyšuje stabilitu materiálu, ale tiež výrazne predlžuje životnosť grafitových komponentov, čím sa následne znižujú výrobné náklady a zvyšuje sa prevádzková efektivita.
Semicera, popredný poskytovateľTaC povlaky, bol nápomocný pri revolúcii v polovodičovom priemysle. Vďaka svojej špičkovej technológii a neochvejnému záväzku ku kvalite umožnila Semicera výrobcom polovodičov prekonať kritické výzvy a dosiahnuť nové výšky úspechu. Ponúkaním povlakov TaC s bezkonkurenčným výkonom a spoľahlivosťou si Semicera upevnila svoju pozíciu dôveryhodného partnera pre polovodičové spoločnosti na celom svete.
Na záver, technológia ochranného náteru, poháňaná inováciami akoTaC povlakyod spoločnosti Semicera, pretvára krajinu polovodičov a pripravuje pôdu pre efektívnejšiu a udržateľnejšiu budúcnosť.
Čas odoslania: 16. mája 2024