Semiceras potešením ponúkaKazeta PFA, prémiová voľba pre manipuláciu s plátkami v prostrediach, kde je chemická odolnosť a životnosť prvoradá. Táto kazeta je vyrobená z vysoko čistého materiálu Perfluoroalkoxy (PFA) a je navrhnutá tak, aby odolala najnáročnejším podmienkam pri výrobe polovodičov a zaistila bezpečnosť a integritu vašich doštičiek.
Bezkonkurenčná chemická odolnosťTheKazeta PFAje navrhnutý tak, aby poskytoval vynikajúcu odolnosť voči širokému spektru chemikálií, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre procesy, ktoré zahŕňajú agresívne kyseliny, rozpúšťadlá a iné drsné chemikálie. Táto robustná chemická odolnosť zaisťuje, že kazeta zostane neporušená a funkčná aj v najkorozívnejších prostrediach, čím sa predlžuje jej životnosť a znižuje sa potreba častých výmen.
Vysoko čistá konštrukciaSemicera'sKazeta PFAje vyrobený z ultračistého materiálu PFA, ktorý je rozhodujúci pri predchádzaní kontaminácii počas spracovania plátkov. Táto konštrukcia s vysokou čistotou minimalizuje riziko tvorby častíc a chemického vylúhovania, čím zaisťuje ochranu vašich plátkov pred nečistotami, ktoré by mohli ohroziť ich kvalitu.
Vylepšená odolnosť a výkonNavrhnuté pre odolnosť,Kazeta PFAzachováva svoju štrukturálnu integritu pri extrémnych teplotách a náročných podmienkach spracovania. Či už je táto kazeta vystavená vysokým teplotám alebo opakovanej manipulácii, zachováva si svoj tvar a výkon a ponúka dlhodobú spoľahlivosť v náročných výrobných prostrediach.
Presné inžinierstvo pre bezpečnú manipuláciuTheSemicera PFA kazetamá precíznu konštrukciu, ktorá zaisťuje bezpečnú a stabilnú manipuláciu s plátkami. Každá štrbina je starostlivo navrhnutá tak, aby držala doštičky bezpečne na mieste, čím sa zabránilo akémukoľvek pohybu alebo posunutiu, ktoré by mohlo viesť k poškodeniu. Toto presné inžinierstvo podporuje konzistentné a presné umiestňovanie plátkov, čo prispieva k celkovej efektívnosti procesu.
Všestranná aplikácia naprieč procesmiVďaka svojim vynikajúcim materiálovým vlastnostiam jeKazeta PFAje dostatočne všestranný na použitie v rôznych fázach výroby polovodičov. Je obzvlášť vhodný na mokré leptanie, chemické nanášanie pár (CVD) a ďalšie procesy, ktoré zahŕňajú drsné chemické prostredie. Jeho prispôsobivosť z neho robí nevyhnutný nástroj na udržiavanie integrity procesu a kvality plátku.
Záväzok ku kvalite a inováciámV Semicera sme odhodlaní poskytovať produkty, ktoré spĺňajú najvyššie priemyselné štandardy. TheKazeta PFAje príkladom tohto záväzku a ponúka spoľahlivé riešenie, ktoré sa bezproblémovo integruje do vašich výrobných procesov. Každá kazeta prechádza prísnou kontrolou kvality, aby sa zabezpečilo, že spĺňa naše prísne výkonnostné kritériá a prináša dokonalosť, ktorú od Semicera očakávate.
| Položky | Výroba | Výskum | Dummy |
| Parametre kryštálu | |||
| Polytyp | 4H | ||
| Chyba orientácie povrchu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrické parametre | |||
| Dopant | dusík typu n | ||
| Odpor | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanické parametre | |||
| Priemer | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Hrúbka | 350±25 μm | ||
| Primárna orientácia bytu | [1-100] ± 5° | ||
| Primárna plochá dĺžka | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Vedľajší byt | žiadne | ||
| TTV | ≤ 5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤ 10 μm (5 mm x 5 mm) |
| Poklona | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Predná (Si-face) drsnosť (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Štruktúra | |||
| Hustota mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovové nečistoty | ≤5E10atómov/cm2 | NA | |
| BPD | ≤ 1500 ea/cm2 | ≤ 3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤ 500 ea/cm2 | ≤ 1000 ea/cm2 | NA |
| Predná kvalita | |||
| Predné | Si | ||
| Povrchová úprava | Si-face CMP | ||
| Častice | ≤ 60 ea/wafer (veľkosť ≥ 0,3 μm) | NA | |
| Škrabance | ≤5 ea/mm. Kumulatívna dĺžka ≤ Priemer | Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA |
| Pomarančová kôra/jamky/škvrny/ryhy/praskliny/kontaminácia | žiadne | NA | |
| Hranové triesky/vruby/lomy/šesťhranné platne | žiadne | ||
| Polytypové oblasti | žiadne | Kumulatívna plocha ≤ 20 % | Kumulatívna plocha ≤ 30 % |
| Predné laserové označenie | žiadne | ||
| Kvalita chrbta | |||
| Zadná úprava | C-tvár CMP | ||
| Škrabance | ≤ 5 ea / mm, Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA | |
| Chyby na zadnej strane (okrajové úlomky/preliačiny) | žiadne | ||
| Drsnosť chrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Zadné laserové značenie | 1 mm (od horného okraja) | ||
| Edge | |||
| Edge | Skosenie | ||
| Balenie | |||
| Balenie | Epi-ready s vákuovým balením Balenie kaziet s viacerými oblátkami | ||
| *Poznámky： "NA" znamená bez požiadavky. Položky, ktoré nie sú uvedené, môžu odkazovať na SEMI-STD. | |||
