RTPCVD SiC krúžkysú široko používané v priemyselných a vedeckých oblastiach vo vysokoteplotnom a korozívnom prostredí. Hrá dôležitú úlohu vo výrobe polovodičov, optoelektronike, presných strojoch a chemickom priemysle. Konkrétne aplikácie zahŕňajú:
1. Výroba polovodičov:RTP CVD SiC krúžkymôže byť použitý na ohrev a chladenie polovodičových zariadení, poskytuje stabilnú reguláciu teploty a zabezpečuje presnosť a konzistenciu procesu.
2. Optoelektronika: Vďaka svojej vynikajúcej tepelnej vodivosti a vysokej teplotnej odolnosti RTPCVD SiC krúžkymôžu byť použité ako nosné materiály a materiály na odvádzanie tepla pre lasery, komunikačné zariadenia s optickými vláknami a optické komponenty.
3. Presné stroje: Krúžky RTP CVD SiC možno použiť pre presné prístroje a zariadenia vo vysokoteplotnom a korozívnom prostredí, ako sú vysokoteplotné pece, vákuové zariadenia a chemické reaktory.
4. Chemický priemysel: Vďaka odolnosti proti korózii a chemickej stabilite môžu byť krúžky RTP CVD SiC použité v nádobách, potrubiach a reaktoroch pri chemických reakciách a katalytických procesoch.
Systém Epi
RTP systém
Systém CVD
Výkon produktu:
1. Zoznámte sa s procesom pod 28 nm
2. Super odolnosť proti korózii
3. Super čistý výkon
4. Super tvrdosť
5. Vysoká hustota
6. Odolnosť voči vysokej teplote
7. Odolnosť proti opotrebovaniu
Aplikácia produktu:
Materiály z karbidu kremíka sa vyznačujú vysokou tvrdosťou, odolnosťou proti opotrebovaniu, odolnosťou proti korózii a vysokou teplotnou stabilitou. Produkty s vynikajúcim komplexným výkonom sú široko používané pri suchom leptaní a TF/difúznych procesoch.
Výkon produktu:
1. Zoznámte sa s procesom pod 28 nm
2. Super odolnosť proti korózii
3. Super čistý výkon
4. Super tvrdosť
5. Vysoká hustota
6. Odolnosť voči vysokej teplote
7. Odolnosť proti opotrebovaniu
Vývoj zložených procesov:
• Grafit + SiC povlak
• Pevné CVD SiC
• Spekaný SiC+CVD
• SicSintrovaný SiC
Vývoj viacerých typov produktov:
• Zazvoňte
• Tabuľka
• Susceptor
• Sprchová hlavica
