SemicerapredstavujePolovodičová kazeta, nevyhnutný nástroj pre bezpečnú a efektívnu manipuláciu s doštičkami počas celého procesu výroby polovodičov. Táto kazeta, navrhnutá s vysokou presnosťou, zaisťuje bezpečné skladovanie a prepravu vašich plátkov, pričom si zachováva svoju integritu v každej fáze.
Špičková ochrana a odolnosťThePolovodičová kazetaod Semicera je skonštruovaný tak, aby poskytoval maximálnu ochranu vašim plátkom. Je vyrobený z robustných materiálov odolných voči kontaminácii a chráni vaše doštičky pred možným poškodením a kontamináciou, vďaka čomu je ideálnou voľbou pre prostredie čistých priestorov. Dizajn kazety minimalizuje tvorbu častíc a zaisťuje, že plátky zostanú nedotknuté a bezpečné počas manipulácie a prepravy.
Vylepšený dizajn pre optimálny výkonSemicera'sPolovodičová kazetamá starostlivo navrhnutý dizajn, ktorý poskytuje presné zarovnanie plátku, čím sa znižuje riziko nesprávneho zarovnania a mechanického poškodenia. Sloty kazety sú dokonale rozmiestnené, aby bezpečne držali každý plátok, čím sa zabráni akémukoľvek pohybu, ktorý by mohol spôsobiť škrabance alebo iné nedokonalosti.
Všestrannosť a kompatibilitaThePolovodičová kazetaje všestranný a kompatibilný s rôznymi veľkosťami doštičiek, vďaka čomu je vhodný pre rôzne fázy výroby polovodičov. Či už pracujete so štandardnými alebo vlastnými rozmermi plátku, táto kazeta sa prispôsobí vašim potrebám a ponúka flexibilitu vo vašich výrobných procesoch.
Zjednodušená manipulácia a efektívnosťNavrhnuté s ohľadom na používateľaSemicera Semiconductor Cassetteje ľahký a ľahko sa s ním manipuluje, čo umožňuje rýchle a efektívne nakladanie a vykladanie. Tento ergonomický dizajn nielen šetrí čas, ale tiež znižuje riziko ľudskej chyby a zaisťuje hladké operácie vo vašom zariadení.
Spĺňa priemyselné normySemicera zabezpečuje, žePolovodičová kazetaspĺňa najvyššie priemyselné štandardy kvality a spoľahlivosti. Každá kazeta prechádza prísnym testovaním, aby sa zaručilo jej konzistentné fungovanie v náročných podmienkach výroby polovodičov. Táto oddanosť kvalite zaisťuje, že vaše doštičky sú vždy chránené a zachovávajú vysoké štandardy požadované v tomto odvetví.
| Položky | Výroba | Výskum | Dummy |
| Parametre kryštálu | |||
| Polytyp | 4H | ||
| Chyba orientácie povrchu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrické parametre | |||
| Dopant | dusík typu n | ||
| Odpor | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanické parametre | |||
| Priemer | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Hrúbka | 350±25 μm | ||
| Primárna orientácia bytu | [1-100] ± 5° | ||
| Primárna plochá dĺžka | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Vedľajší byt | žiadne | ||
| TTV | ≤ 5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤ 10 μm (5 mm * 5 mm) |
| Poklona | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Predná (Si-face) drsnosť (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Štruktúra | |||
| Hustota mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovové nečistoty | ≤5E10atómov/cm2 | NA | |
| BPD | ≤ 1500 ea/cm2 | ≤ 3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤ 500 ea/cm2 | ≤ 1000 ea/cm2 | NA |
| Predná kvalita | |||
| Predné | Si | ||
| Povrchová úprava | Si-face CMP | ||
| Častice | ≤ 60 ea/wafer (veľkosť ≥ 0,3 μm) | NA | |
| Škrabance | ≤5 ea/mm. Kumulatívna dĺžka ≤ Priemer | Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA |
| Pomarančová kôra/jamky/škvrny/ryhy/praskliny/kontaminácia | žiadne | NA | |
| Hranové triesky/vruby/lomy/šesťhranné platne | žiadne | ||
| Polytypové oblasti | žiadne | Kumulatívna plocha ≤ 20 % | Kumulatívna plocha ≤ 30 % |
| Predné laserové označenie | žiadne | ||
| Kvalita chrbta | |||
| Zadná úprava | C-tvár CMP | ||
| Škrabance | ≤ 5 ea / mm, Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA | |
| Chyby na zadnej strane (okrajové úlomky/preliačiny) | žiadne | ||
| Drsnosť chrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Zadné laserové značenie | 1 mm (od horného okraja) | ||
| Edge | |||
| Edge | Skosenie | ||
| Balenie | |||
| Balenie | Epi-ready s vákuovým balením Balenie kaziet s viacerými oblátkami | ||
| *Poznámky： "NA" znamená bez požiadavky. Položky, ktoré nie sú uvedené, môžu odkazovať na SEMI-STD. | |||
