Popis
MOCVD ohrievač substrátu, vykurovacie telesá pre MOCVD
Grafitový ohrievač:
Komponenty grafitového ohrievača sa používajú vo vysokoteplotnej peci s teplotou dosiahnutou 2200 stupňov vo vákuovom prostredí a 3000 stupňov v prostredí deoxidovaného a vloženého plynu.
Hlavné vlastnosti grafitového ohrievača
1. jednotnosť vykurovacej štruktúry.
2. dobrá elektrická vodivosť a vysoké elektrické zaťaženie.
3. odolnosť proti korózii.
4. neoxidovateľnosť.
5. vysoká chemická čistota.
6. vysoká mechanická pevnosť.
Výhodou je energetická efektívnosť, vysoká hodnota a nenáročnosť na údržbu.
Môžeme vyrobiť antioxidačný grafitový téglik s dlhou životnosťou, grafitovú formu a všetky časti grafitového ohrievača.
Chemický grafit
Výhoda: Odolnosť voči vysokej teplote
Použitie: MOCVD / vákuová pec / horúca zóna
Objemová hustota: 1,68-1,91 g/cm3
Pevnosť v ohybe: 30-46Mpa
Odpor: 7-12μΩm
Hlavné parametre grafitového ohrievača
| Technická špecifikácia | VET-M3 |
| Objemová hustota (g/cm3) | ≥1,85 |
| Obsah popola (PPM) | ≤ 500 |
| Tvrdosť Shore | ≥45 |
| Špecifický odpor (μ.Ω.m) | ≤12 |
| Pevnosť v ohybe (Mpa) | ≥40 |
| Pevnosť v tlaku (Mpa) | ≥70 |
| Max. Veľkosť zrna (μm) | ≤43 |
| Koeficient tepelnej rozťažnosti Mm/°C | ≤4,4*10-6 |
Grafitový ohrievač do elektrickej pece má vlastnosti tepelnej odolnosti, odolnosti voči oxidácii, dobrej elektrickej vodivosti a lepšej mechanickej náročnosti. Môžeme opracovať rôzne typy grafitových ohrievačov podľa návrhov zákazníkov.
Profil spoločnosti
WeiTai Energy Technology Co., Ltd. je popredným dodávateľom pokročilej polovodičovej keramiky a jediným výrobcom v Číne, ktorý môže súčasne poskytnúť keramiku z karbidu kremíka vysokej čistoty (najmä rekryštalizovaný SiC) a CVD SiC povlak. Okrem toho sa naša spoločnosť venuje aj keramickým poliam, ako je oxid hlinitý, nitrid hliníka, oxid zirkoničitý a nitrid kremíka atď.
Medzi naše hlavné produkty patria: leptací kotúč z karbidu kremíka, člnový vlek z karbidu kremíka, čln na doštičku z karbidu kremíka (fotovoltaický a polovodičový), rúrka pece z karbidu kremíka, konzolová lopatka z karbidu kremíka, skľučovadlá z karbidu kremíka, lúč z karbidu kremíka, ako aj povlak Ta CVCD SiC náter. Výrobky používané hlavne v polovodičovom a fotovoltaickom priemysle, ako sú zariadenia na rast kryštálov, epitaxiu, leptanie, balenie, poťahovanie a difúzne pece atď.
Naša spoločnosť disponuje kompletným výrobným zariadením ako je lisovanie, spekanie, spracovanie, náterové zariadenia atď., ktoré dokáže doplniť všetky potrebné väzby výroby produktov a má vyššiu kontrolovateľnosť kvality produktov; Optimálny plán výroby je možné zvoliť podľa potrieb produktu, čo vedie k nižším nákladom a poskytuje zákazníkom konkurencieschopnejšie produkty; Dokážeme flexibilne a efektívne naplánovať výrobu na základe požiadaviek na doručenie objednávok a v spojení s online systémami riadenia objednávok, čím zákazníkom poskytneme rýchlejší a zaručenejší čas doručenia.
