Semicera'sEpitaxia karbidu kremíkaje navrhnutý tak, aby spĺňal prísne požiadavky moderných polovodičových aplikácií. Využitím pokročilých techník epitaxného rastu zaisťujeme, že každá vrstva karbidu kremíka vykazuje výnimočnú kryštalickú kvalitu, rovnomernosť a minimálnu hustotu defektov. Tieto vlastnosti sú rozhodujúce pre vývoj vysokovýkonnej výkonovej elektroniky, kde je prvoradá účinnosť a tepelné riadenie.
TheEpitaxia karbidu kremíkaProces v Semicera je optimalizovaný na výrobu epitaxných vrstiev s presnou hrúbkou a kontrolou dopingu, čím sa zabezpečuje konzistentný výkon v celom rade zariadení. Táto úroveň presnosti je nevyhnutná pre aplikácie v elektrických vozidlách, systémoch obnoviteľnej energie a vysokofrekvenčných komunikáciách, kde sú spoľahlivosť a účinnosť rozhodujúce.
Navyše, Semicera'sEpitaxia karbidu kremíkaponúka zvýšenú tepelnú vodivosť a vyššie prierazné napätie, vďaka čomu je preferovanou voľbou pre zariadenia, ktoré pracujú v extrémnych podmienkach. Tieto vlastnosti prispievajú k dlhšej životnosti zariadenia a zlepšeniu celkovej účinnosti systému, najmä v prostrediach s vysokým výkonom a vysokou teplotou.
Semicera tiež poskytuje možnosti prispôsobenia preEpitaxia karbidu kremíka, čo umožňuje riešenia na mieru, ktoré spĺňajú špecifické požiadavky na zariadenia. Či už ide o výskum alebo výrobu vo veľkom meradle, naše epitaxné vrstvy sú navrhnuté tak, aby podporovali ďalšiu generáciu polovodičových inovácií a umožnili vývoj výkonnejších, efektívnejších a spoľahlivejších elektronických zariadení.
Integráciou špičkovej technológie a prísnych procesov kontroly kvality zabezpečuje Semicera, že našeEpitaxia karbidu kremíkaprodukty nielen spĺňajú, ale prekračujú priemyselné normy. Tento záväzok k dokonalosti robí z našich epitaxných vrstiev ideálny základ pre pokročilé polovodičové aplikácie, čím dláždi cestu prelomovým objavom vo výkonovej elektronike a optoelektronike.
| Položky | Výroba | Výskum | Dummy |
| Parametre kryštálu | |||
| Polytyp | 4H | ||
| Chyba orientácie povrchu | <11-20 >4±0,15° | ||
| Elektrické parametre | |||
| Dopant | dusík typu n | ||
| Odpor | 0,015-0,025 ohm·cm | ||
| Mechanické parametre | |||
| Priemer | 150,0 ± 0,2 mm | ||
| Hrúbka | 350±25 μm | ||
| Primárna orientácia bytu | [1-100] ± 5° | ||
| Primárna plochá dĺžka | 47,5 ± 1,5 mm | ||
| Vedľajší byt | žiadne | ||
| TTV | ≤ 5 μm | ≤10 μm | ≤15 μm |
| LTV | ≤ 3 μm (5 mm * 5 mm) | ≤5 μm (5mm*5mm) | ≤ 10 μm (5 mm x 5 mm) |
| Poklona | -15μm ~ 15μm | -35μm ~ 35μm | -45μm ~ 45μm |
| Warp | ≤35 μm | ≤45 μm | ≤55 μm |
| Predná (Si-face) drsnosť (AFM) | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Štruktúra | |||
| Hustota mikropipe | <1 ea/cm2 | <10 ea/cm2 | <15 ea/cm2 |
| Kovové nečistoty | ≤5E10atómov/cm2 | NA | |
| BPD | ≤ 1500 ea/cm2 | ≤ 3000 ea/cm2 | NA |
| TSD | ≤ 500 ea/cm2 | ≤ 1000 ea/cm2 | NA |
| Predná kvalita | |||
| Predné | Si | ||
| Povrchová úprava | Si-face CMP | ||
| Častice | ≤ 60 ea/wafer (veľkosť ≥ 0,3 μm) | NA | |
| Škrabance | ≤5 ea/mm. Kumulatívna dĺžka ≤ Priemer | Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA |
| Pomarančová kôra/jamky/škvrny/ryhy/praskliny/kontaminácia | žiadne | NA | |
| Hranové triesky/vruby/lomy/šesťhranné platne | žiadne | ||
| Polytypové oblasti | žiadne | Kumulatívna plocha ≤ 20 % | Kumulatívna plocha ≤ 30 % |
| Predné laserové označenie | žiadne | ||
| Kvalita chrbta | |||
| Zadná úprava | C-tvár CMP | ||
| Škrabance | ≤ 5 ea / mm, Kumulatívna dĺžka ≤ 2 * Priemer | NA | |
| Chyby na zadnej strane (okrajové úlomky/preliačiny) | žiadne | ||
| Drsnosť chrbta | Ra≤0,2nm (5μm*5μm) | ||
| Zadné laserové značenie | 1 mm (od horného okraja) | ||
| Edge | |||
| Edge | Skosenie | ||
| Balenie | |||
| Balenie | Epi-ready s vákuovým balením Balenie kaziet s viacerými oblátkami | ||
| *Poznámky： "NA" znamená bez požiadavky. Položky, ktoré nie sú uvedené, môžu odkazovať na SEMI-STD. | |||
