Popis
TheSusceptory z karbidu kremíka (SiC).for MOCVD od semicera sú navrhnuté pre pokročilé epitaxné procesy a ponúkajú vynikajúci výkon pre obeSi epitaxiaaSiC epitaxiaaplikácie. Inovatívny prístup spoločnosti Semicera zaisťuje, že tieto susceptory sú odolné a efektívne a poskytujú stabilitu a presnosť pre kritické výrobné operácie.
Navrhnuté tak, aby podporovali zložité potrebySusceptor MOCVDsystémy sú tieto produkty všestranné, kompatibilné s nosičmi ako PSS Etching Carrier, ICP Etching Carrier a RTP Carrier. Ich flexibilita ich robí vhodnými pre high-tech odvetvia, vrátane tých, s ktorými pracujúLED epitaxnéSusceptor a monokryštalický kremík.
S viacerými konfiguráciami, vrátane Barrel Susceptor a Pancake Susceptor, sú tieto plátkové susceptory tiež nevyhnutné vo fotovoltaickom sektore, podporujúc výrobu fotovoltaických dielov. Pre výrobcov polovodičov je vďaka schopnosti zvládnuť GaN na SiC Epitaxy procesy tieto susceptory veľmi cenné na zabezpečenie vysokokvalitného výstupu v širokej škále aplikácií.
Hlavné vlastnosti
1. Vysoko čistý grafit pokrytý SiC
2. Vynikajúca tepelná odolnosť a tepelná rovnomernosť
3. DobreKryštály SiC potiahnutépre hladký povrch
4. Vysoká odolnosť proti chemickému čisteniu
Hlavné špecifikácie povlakov CVD-SIC:
| SiC-CVD | ||
| Hustota | (g/cc) | 3.21 |
| Pevnosť v ohybe | (Mpa) | 470 |
| Tepelná rozťažnosť | (10-6/K) | 4 |
| Tepelná vodivosť | (W/mK) | 300 |
Balenie a doprava
Schopnosť zásobovania:
10 000 kusov/kusov za mesiac
Balenie a dodanie:
Balenie: Štandardné a silné balenie
Poly bag + krabica + kartón + paleta
Port:
Ningbo/Shenzhen/Šanghaj
Dodacia lehota:
| Množstvo (kusy) | 1-1000 | >1000 |
| Odhad. čas (dni) | 30 | Na vyjednávanie |
