Substráty z karbidu kremíka|SiC doštičky

Krátky popis:

Semicera Energy Technology Co., Ltd. je popredným dodávateľom špecializujúcim sa na doštičky a pokročilé polovodičové spotrebné materiály. Sme odhodlaní poskytovať vysokokvalitné, spoľahlivé a inovatívne produkty pre výrobu polovodičov, fotovoltaický priemysel a ďalšie súvisiace oblasti.

Naša produktová rada zahŕňa grafitové produkty potiahnuté SiC/TaC a keramické produkty, ktoré zahŕňajú rôzne materiály, ako je karbid kremíka, nitrid kremíka a oxid hlinitý atď.

V súčasnosti sme jediným výrobcom, ktorý poskytuje čistotu 99,9999 % SiC povlaku a 99,9 % rekryštalizovaného karbidu kremíka. Maximálna dĺžka povlaku SiC je 2640 mm.

Pošlite nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Monokryštálový materiál karbidu kremíka (SiC) má veľkú šírku pásma (~Si 3-krát), vysokú tepelnú vodivosť (~Si 3,3-krát alebo GaAs 10-krát), vysokú rýchlosť migrácie elektrónovej saturácie (~Si 2,5-krát), vysoký elektrický prieraz poľa (~ Si 10-krát alebo GaAs 5-krát) a ďalšie vynikajúce vlastnosti.

SiC zariadenia majú nenahraditeľné výhody v oblasti vysokoteplotných, vysokotlakových, vysokofrekvenčných, vysokovýkonných elektronických zariadení a extrémnych environmentálnych aplikácií, ako je letectvo, armáda, jadrová energetika atď., ktoré kompenzujú nedostatky tradičných polovodičových materiálov v praxi. aplikácie a postupne sa stávajú hlavným prúdom výkonových polovodičov.

Špecifikácie substrátu 4H-SiC z karbidu kremíka

Item项目	Špecifikácie参数
Polytyp 晶型	4H-SiC	6H- SiC
Priemer 晶圆直径	2 palce \| 3 palce \| 4 palce \| 6 palcov	2 palce \| 3 palce \| 4 palce \| 6 palcov
Hrúbka 厚度	330 μm ~ 350 μm	330 μm ~ 350 μm
Vodivosť 导电类型	N – typ / Poloizolačné N型导电片/ 半绝缘片	N – typ / Poloizolačné N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (dusík)V (vanád)	N2 (dusík) V (vanád)
Orientácia 晶向	Na osi <0001> Mimo os <0001> mimo 4°	Na osi <0001> Mimo os <0001> mimo 4°
Odpor 电阻率	0,015 ~ 0,03 ohm-cm (4H-N)	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (6H-N)
Hustota mikropipe (MPD) 微管密度	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2	≤10/cm2 ~ ≤1/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm	≤ 15 μm
Luk / osnova 翘曲度	≤ 25 μm	≤ 25 μm
Povrch 表面处理	DSP/SSP	DSP/SSP
stupňa 产品等级	Úroveň výroby / výskumu	Úroveň výroby / výskumu
Sekvencia stohovania kryštálov 堆积方式	ABCB	ABCABC
Parameter mriežky 晶格参数	a=3,076A, c=10,053A	a=3,073A, c=15,117A
Eg/eV (medzera pásma) 禁带宽度	3,27 eV	3,02 eV
ε (dielektrická konštanta) 介电常数	9.6	9,66
Index lomu 折射率	n0 = 2,719, ne = 2,777	n° = 2,707, ne = 2,755

Špecifikácie substrátu 6H-SiC z karbidu kremíka

Item项目	Špecifikácie参数
Polytyp 晶型	6H-SiC
Priemer 晶圆直径	4 palce \| 6 palcov
Hrúbka 厚度	350 μm ~ 450 μm
Vodivosť 导电类型	N – typ / Poloizolačné N型导电片/ 半绝缘片
Dopant 掺杂剂	N2 (dusík) V (vanád)
Orientácia 晶向	<0001> off 4°± 0,5°
Odpor 电阻率	0,02 ~ 0,1 ohm-cm (typ 6H-N)
Hustota mikropipe (MPD) 微管密度	≤ 10/cm2
TTV 总厚度变化	≤ 15 μm
Luk / osnova 翘曲度	≤ 25 μm
Povrch 表面处理	Si Face: CMP, Epi-Ready C Tvár: Optický lesk
stupňa 产品等级	Výskumný stupeň