Prehľad produktov
TheNosič lopatky a plátku z karbidu kremíka (SiC) impregnovaného kremíkomje navrhnutý tak, aby spĺňal náročné požiadavky aplikácií tepelného spracovania polovodičov. Tento produkt, vyrobený z vysoko čistého SiC a vylepšený silikónovou impregnáciou, ponúka jedinečnú kombináciu vysokoteplotného výkonu, vynikajúcej tepelnej vodivosti, odolnosti proti korózii a vynikajúcej mechanickej pevnosti.
Vďaka integrácii pokročilej materiálovej vedy s precíznou výrobou toto riešenie zaisťuje výrobcom polovodičov vynikajúci výkon, spoľahlivosť a odolnosť.
Kľúčové vlastnosti
1.Výnimočná odolnosť voči vysokým teplotám
S teplotou topenia presahujúcou 2700 °C sú materiály SiC vo svojej podstate stabilné pri extrémnych teplotách. Silikónová impregnácia ďalej zvyšuje ich tepelnú stabilitu a umožňuje im odolávať dlhodobému vystaveniu vysokým teplotám bez štrukturálneho oslabenia alebo zníženia výkonu.
2.Vynikajúca tepelná vodivosť
Výnimočná tepelná vodivosť kremíkom impregnovaného SiC zaisťuje rovnomerné rozloženie tepla, čím sa znižuje tepelné namáhanie počas kritických fáz spracovania. Táto vlastnosť predlžuje životnosť zariadenia a minimalizuje prestoje vo výrobe, vďaka čomu je ideálne pre vysokoteplotné tepelné spracovanie.
3.Odolnosť proti oxidácii a korózii
Na povrchu sa prirodzene vytvára robustná vrstva oxidu kremičitého, ktorá poskytuje vynikajúcu odolnosť proti oxidácii a korózii. To zaisťuje dlhodobú spoľahlivosť v náročných prevádzkových prostrediach, pričom chráni materiál aj okolité komponenty.
4.Vysoká mechanická pevnosť a odolnosť proti opotrebovaniu
SiC impregnovaný kremíkom sa vyznačuje vynikajúcou pevnosťou v tlaku a odolnosťou proti opotrebovaniu, pričom si zachováva svoju štrukturálnu integritu pri vysokom zaťažení a vysokej teplote. Tým sa znižuje riziko poškodenia spôsobeného opotrebovaním a zabezpečuje sa konzistentný výkon počas predĺžených cyklov používania.
Špecifikácie
| Názov produktu | SC-RSiC-Si |
| Materiál | Impregnácia kremíka Kompaktný karbid kremíka (vysoká čistota) |
| Aplikácie | Diely na tepelné spracovanie polovodičov, Diely zariadení na výrobu polovodičov |
| Doručovací formulár | Lisované telo (spekané telo) |
| Zloženie | Mechanická vlastnosť | Youngov modul (GPa) | Pevnosť v ohybe (MPa) | ||
| Zloženie (obj. %) | a-SiC | a-SiC | RT | 370 | 250 |
| 82 | 18 | 800 °C | 360 | 220 | |
| Objemová hmotnosť (kg/m³) | 3,02 x 103 | 1200 °C | 340 | 220 | |
| Tepelne odolná teplota°C | 1350 | Poissonov pomer | 0,18 (RT) | ||
| Tepelná nehnuteľnosť | Tepelná vodivosť (W/(m·K)) | Špecifická tepelná kapacita (kJ/(kg·K)) | Koeficient tepelnej rozťažnosti (1/K) | ||
| RT | 220 | 0,7 | RT~700°C | 3,4 x 10-6 | |
| 700 °C | 60 | 1.23 | 700 až 1200 °C | 4,3 x 10-6 | |
| Obsah nečistôt ((ppm) | |||||||||||||
| Prvok | Fe | Ni | Na | K | Mg | Ca | Cr | Mn | Zn | Cu | Ti | Va | Ai |
| Miera obsahu | 3 | <2 | <0,5 | <0,1 | <1 | 5 | 0,3 | <0,1 | <0,1 | <0,1 | <0,3 | <0,3 | 25 |
Aplikácie
▪Tepelné spracovanie polovodičov:Ideálne pre procesy, ako je chemické nanášanie pár (CVD), epitaxný rast a žíhanie, kde je rozhodujúca presná kontrola teploty a trvanlivosť materiálu.
▪Nosiče plátkov a lopatky:Navrhnuté na bezpečné držanie a prepravu plátkov počas vysokoteplotného tepelného spracovania.
▪Extrémne prevádzkové prostredia: Vhodné pre nastavenia vyžadujúce odolnosť voči teplu, chemikáliám a mechanickému namáhaniu.
Výhody SiC impregnovaného kremíkom
Kombinácia vysoko čistého karbidu kremíka a pokročilej technológie impregnácie kremíka poskytuje bezkonkurenčné výhody výkonu:
▪presnosť:Zvyšuje presnosť a kontrolu spracovania polovodičov.
▪Stabilita:Odoláva drsnému prostrediu bez ohrozenia funkčnosti.
▪Životnosť:Predlžuje životnosť zariadení na výrobu polovodičov.
▪Účinnosť:Zvyšuje produktivitu zabezpečením spoľahlivých a konzistentných výsledkov.
Prečo si vybrať naše riešenia SiC impregnované kremíkom?
At Semicera, špecializujeme sa na poskytovanie vysokovýkonných riešení prispôsobených potrebám výrobcov polovodičov. Naše lopatky a nosiče doštičiek z karbidu kremíka impregnovaného kremíkom prechádzajú prísnym testovaním a zabezpečením kvality, aby spĺňali priemyselné normy. Výberom Semicera získate prístup k špičkovým materiálom navrhnutým na optimalizáciu vašich výrobných procesov a zlepšenie vašich výrobných možností.
Technické špecifikácie
▪Materiálové zloženie:Vysoko čistý karbid kremíka s impregnáciou kremíka.
▪Rozsah prevádzkových teplôt:Až do 2700°C.
▪ Tepelná vodivosť:Výnimočne vysoká pre rovnomerné rozloženie tepla.
▪Vlastnosti odolnosti:Odolné voči oxidácii, korózii a opotrebovaniu.
▪Aplikácie:Kompatibilné s rôznymi systémami tepelného spracovania polovodičov.
Kontaktujte nás
Ste pripravení pozdvihnúť svoj proces výroby polovodičov? KontaktovaťSemiceradnes sa dozviete viac o našich lopatkách a nosičoch z karbidu kremíka impregnovaného kremíkom.
▪Email: sales01@semi-cera.com/sales05@semi-cera.com
▪Telefón: +86-0574-8650 3783
▪miesto:No.1958 Jiangnan Road, Ningbo High tech, Zone, Zhejiang Province, 315201, Čína
