TaC potiahnutý grafitový vodiaci krúžok

Grafitový vodiaci krúžok potiahnutý TaC Obrázkom

Krátky popis:

TaC potiahnutý grafitový vodiaci krúžok Semicera Semiconductor je navrhnutý pre rast kryštálov karbidu kremíka, poskytuje výnimočnú odolnosť proti opotrebovaniu a tepelnú stabilitu. Vyberte si Semicera pre spoľahlivé a vysokovýkonné komponenty.

Pošlite nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Grafitové vodiace krúžky potiahnuté TaCoznačujú nanesenie tenkej vrstvykarbid tantaluna povrchu grafitového vodiaceho krúžku, aby sa zlepšila jeho odolnosť proti opotrebovaniu, odolnosť voči vysokej teplote a chemická stabilita. Tento povlak sa zvyčajne vytvára na povrchu grafitového vodiaceho krúžku technikami, ako je fyzikálne nanášanie pár (PVD) alebo chemické nanášanie pár (CVD).

Semicera poskytuje špecializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pre rôzne komponenty a nosiče.Popredný proces povlakovania Semicera umožňuje povlakom z karbidu tantalu (TaC) dosiahnuť vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú toleranciu, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálov SIC/GAN a vrstiev EPI (Grafitom potiahnutý TaC susceptor) a predĺženie životnosti kľúčových komponentov reaktora. Použitie povlaku karbidu tantalu TaC má vyriešiť problém s okrajmi a zlepšiť kvalitu rastu kryštálov a Semicera prelomovo vyriešila technológiu povlakovania karbidu tantalu (CVD), čím dosiahla medzinárodnú pokročilú úroveň.

Po rokoch vývoja si Semicera podmanila technológiuCVD TaCspoločným úsilím oddelenia výskumu a vývoja. Poruchy sa ľahko vyskytujú v procese rastu doštičiek SiC, ale po použitíTaC, rozdiel je značný. Nižšie je uvedené porovnanie doštičiek s a bez TaC, ako aj častí Simicera pre rast monokryštálov.

Medzi hlavné vlastnosti grafitových vodiacich krúžkov potiahnutých TaC patria:

1. Odolnosť voči vysokej teplote: TaC povlak má vynikajúcu stabilitu pri vysokej teplote a dokáže udržať stabilitu v prostredí s vysokou teplotou.

2. Odolnosť proti opotrebeniu: Vysoká tvrdosť tenkej vrstvy karbidu tantalu dáva vodiacemu krúžku dobrú odolnosť proti opotrebeniu a predlžuje jeho životnosť.

3. Chemická stabilita: TaC povlak má vysokú stabilitu proti chemickej korózii, vďaka čomu je vhodný pre aplikácie v niektorých korozívnych médiách.

4. Znížte trenie: Povlak TaC môže účinne znížiť trenie medzi grafitovým vodiacim krúžkom a inými komponentmi a zlepšiť účinnosť mechanických tesnení.

Vysokoúčinný povlak z karbidu tantalu_ zlepšuje efektivitu priemyselnej výroby a znižuje náklady na údržbu Odporúčaný obrázok

Tac časť pre rast monokryštálov

Povlak karbidu tantalu proti opotrebeniu_ Chráni zariadenie pred opotrebovaním a koróziou Odporúčaný obrázok

Grafit s krúžkom potiahnutým TaC

s a bez TaC

Po použití TaC (vpravo)

Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek: