TaC Coated Plate je špecializovaný disk navrhnutý na použitie pri epitaxných procesoch SiC, vyrobený s presnosťou z vysokokvalitného grafitového materiálu. Jeho povrch je starostlivo potiahnutý karbidom tantalu (TaC), zlúčeninou známou pre svoju výnimočnú čistotu a pevnosť. Povlak TaC zvyšuje trvanlivosť a odolnosť dosky voči vysokým teplotám, vďaka čomu je ideálna pre náročné podmienky epitaxných procesov SiC.
Táto inovatívna doska s povlakom TaC je špecializovaný disk navrhnutý na použitie v epitaxných procesoch SiC, vyrobený s presnosťou z vysokokvalitného grafitového materiálu. Povrch dosky s povlakom TaC je starostlivo potiahnutý karbidom tantalu (TaC), zlúčeninou známou pre svoju výnimočnú čistotu a pevnosť. slúži ako spoľahlivá platforma na prenášanie plátkov počas rôznych štádií epitaxného rastu SiC. Jeho vysoko čistý grafitový základ poskytuje stabilný a inertný povrch, zatiaľ čo povlak TaC pridáva ďalšiu vrstvu ochrany proti chemickým reakciám a opotrebovaniu.
SemicéraTaC Coated Plate je prispôsobená podľa špecifických požiadaviek zákazníkov, čím sa zabezpečuje optimálny výkon a kompatibilita s ich SiC epitaxnými systémami. Či už ide o veľkosť, tvar alebo iné špecifikácie, tieto dosky sú prispôsobené tak, aby vyhovovali jedinečným potrebám každej aplikácie.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek:
