Semicera poskytuje špecializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pre rôzne komponenty a nosiče.Popredný proces povlakovania Semicera umožňuje povlakom z karbidu tantalu (TaC) dosiahnuť vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú toleranciu, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálov SIC/GAN a vrstiev EPI (Grafitom potiahnutý TaC susceptor) a predĺženie životnosti kľúčových komponentov reaktora. Použitie povlaku karbidu tantalu TaC má vyriešiť problém s okrajmi a zlepšiť kvalitu rastu kryštálov a Semicera prelomovo vyriešila technológiu povlakovania karbidu tantalu (CVD), čím dosiahla medzinárodnú pokročilú úroveň.
Nosiče plátkov potiahnutých karbidom tantalu sa široko používajú v procesoch spracovania plátkov a manipulácie v procesoch výroby polovodičov. Poskytujú stabilnú podporu a ochranu na zaistenie bezpečnosti, presnosti a konzistencie doštičiek počas výrobného procesu. Povlaky z karbidu tantalu môžu predĺžiť životnosť nosiča, znížiť náklady a zlepšiť kvalitu a spoľahlivosť polovodičových produktov.
Opis plátkového nosiča potiahnutého karbidom tantalu je takýto:
1. Výber materiálu: Karbid tantalu je materiál s vynikajúcim výkonom, vysokou tvrdosťou, vysokým bodom topenia, odolnosťou proti korózii a vynikajúcimi mechanickými vlastnosťami, takže je široko používaný v procese výroby polovodičov.
2. Povrchová vrstva: Povlak karbidu tantalu sa nanáša na povrch nosiča plátku pomocou špeciálneho procesu nanášania, aby sa vytvoril rovnomerný a hustý povlak karbidu tantalu. Tento povlak môže poskytnúť dodatočnú ochranu a odolnosť proti opotrebovaniu, pričom má dobrú tepelnú vodivosť.
3. Rovinnosť a presnosť: Nosič plátkov potiahnutý karbidom tantalu má vysoký stupeň rovinnosti a presnosti, čo zaisťuje stabilitu a presnosť plátkov počas výrobného procesu. Rovnosť a povrchová úprava povrchu nosiča sú rozhodujúce pre zabezpečenie kvality a výkonu doštičky.
4. Teplotná stabilita: Nosiče plátkov potiahnutých karbidom tantalu môžu udržiavať stabilitu v prostredí s vysokou teplotou bez deformácie alebo uvoľnenia, čím sa zabezpečí stabilita a konzistencia plátkov pri vysokoteplotných procesoch.
5. Odolnosť proti korózii: Povlaky z karbidu tantalu majú vynikajúcu odolnosť proti korózii, môžu odolávať erózii chemikálií a rozpúšťadiel a chrániť nosič pred koróziou kvapalín a plynov.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek:
