SemiceraTaC Coating Chuck, špičkové vákuové skľučovadlo vybavenéTaC povlaky, špeciálne navrhnuté pre polovodičové pece. Táto inovatívna technológia, navrhnutá tak, aby spĺňala prísne požiadavky moderných procesov výroby polovodičov, stanovuje nový štandard pre presnosť, spoľahlivosť a dlhú životnosť.
V srdci výroby polovodičov leží kritická potreba presnej kontroly a stability počas spracovania. TaC Coating Chuck rieši túto potrebu integráciou pokročilýchPovlaky TaC (karbid tantalu).na jeho povrch, čo zaisťuje výnimočnú tepelnú stabilitu, trvanlivosť a odolnosť voči chemickej korózii. Táto jedinečná kombinácia materiálov nielen zvyšuje výkon skľučovadla, ale tiež predlžuje jeho prevádzkovú životnosť a poskytuje konzistentné výsledky počas nespočetných cyklov.
Jednou z kľúčových výhod TaC Coating Chuck je jeho schopnosť udržiavať vysokú úroveň integrity vákua počas celého cyklu spracovania. Účinnou minimalizáciou uvoľňovania plynov a kontaminácie táto technológia zaisťuje čistotu a kvalitu polovodičových materiálov, čo vedie k vynikajúcemu výkonu a spoľahlivosti zariadenia.
Okrem toho TaC Coating Chuck ponúka bezkonkurenčnú všestrannosť, ktorá pojme širokú škálu polovodičových substrátov s rôznymi veľkosťami a geometriami. Prispôsobiteľný dizajn TaC Coating Chuck umožňuje bezproblémovú integráciu do existujúcich systémov polovodičových pecí, minimalizuje prestoje a maximalizuje produktivitu.
S TaC Coating Chuck môžu výrobcovia polovodičov dosiahnuť vyššiu priepustnosť, vyššiu výťažnosť a zníženie celkových nákladov. Či už vo výskumných laboratóriách alebo vo veľkoobjemových výrobných zariadeniach, táto pokročilá technológia umožňuje profesionálom v oblasti polovodičov posúvať hranice inovácií pri zachovaní prísnych noriem kvality.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek:
