Grafitový plech potiahnutý karbidom tantaluje grafitový materiál s tenkou vrstvoukarbid tantaluna povrchu substrátu. Tenká vrstva karbidu tantalu sa zvyčajne vytvára na povrchu grafitového substrátu technikami, ako je fyzikálne nanášanie pár (PVD) alebo chemické nanášanie pár (CVD). Tento povlak má vynikajúce vlastnosti, ako je vysoká tvrdosť, vynikajúca odolnosť proti opotrebovaniu, odolnosť proti korózii a vysoká teplotná stabilita.
Semicera poskytuje špecializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pre rôzne komponenty a nosiče.Popredný proces povlakovania Semicera umožňuje povlakom z karbidu tantalu (TaC) dosiahnuť vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú toleranciu, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálov SIC/GAN a vrstiev EPI (Grafitom potiahnutý TaC susceptor) a predĺženie životnosti kľúčových komponentov reaktora. Použitie povlaku karbidu tantalu TaC má vyriešiť problém s okrajmi a zlepšiť kvalitu rastu kryštálov a Semicera prelomovo vyriešila technológiu povlakovania karbidu tantalu (CVD), čím dosiahla medzinárodnú pokročilú úroveň.
Medzi hlavné výhody grafitového plechu potiahnutého karbidom tantalu patria:
1. Odolnosť voči vysokej teplote: Karbid tantalu má vysoký bod topenia a vynikajúcu stabilitu pri vysokej teplote, vďaka čomu je potiahnutý grafitový list vhodný na použitie v prostrediach s vysokou teplotou.
2. Odolnosť proti korózii: Povlak karbidu tantalu môže odolávať erózii mnohých chemických korozívnych látok a predĺžiť životnosť materiálu.
3. Vysoká tvrdosť: Vysoká tvrdosť tenkej vrstvy karbidu tantalu poskytuje dobrú odolnosť proti opotrebovaniu a je vhodná pre aplikácie vyžadujúce vysokú odolnosť proti opotrebovaniu.
4. Chemická stabilita: Povlak karbidu tantalu má vynikajúcu stabilitu voči chemickej korózii a je vhodný na použitie v niektorých korozívnych médiách.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek: