Semicera poskytuje špecializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pre rôzne komponenty a nosiče.Popredný proces povlakovania Semicera umožňuje povlakom z karbidu tantalu (TaC) dosiahnuť vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú toleranciu, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálov SIC/GAN a vrstiev EPI (Grafitom potiahnutý TaC susceptor) a predĺženie životnosti kľúčových komponentov reaktora. Použitie povlaku karbidu tantalu TaC má vyriešiť problém s okrajmi a zlepšiť kvalitu rastu kryštálov a Semicera prelomovo vyriešila technológiu povlakovania karbidu tantalu (CVD), čím dosiahla medzinárodnú pokročilú úroveň.
Karbid kremíka (SiC) je kľúčovým materiálom v tretej generácii polovodičov, ale jeho výťažnosť bola limitujúcim faktorom pre rast priemyslu. Po rozsiahlom testovaní v laboratóriách Semicery sa zistilo, že striekaný a spekaný TaC nemá potrebnú čistotu a jednotnosť. Na rozdiel od toho proces CVD zaisťuje úroveň čistoty 5 PPM a vynikajúcu jednotnosť. Použitie CVD TaC výrazne zlepšuje výťažnosť doštičiek z karbidu kremíka. Vítame diskusieVodiaci krúžok CVD povlaku z karbidu tantalu na ďalšie zníženie nákladov na doštičky SiC.
s a bez TaC
Po použití TaC (vpravo)
Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek:
