Planetárna doska s povlakom karbidu tantalu (TaC).

Obrázok planétovej platne s povlakom karbidu tantalu (TaC).

Krátky popis:

S príchodom 8-palcových doštičiek z karbidu kremíka (SiC) sú požiadavky na rôzne polovodičové procesy čoraz prísnejšie, najmä na procesy epitaxie, kde teploty môžu presiahnuť 2000 stupňov Celzia. Tradičné susceptorové materiály, ako je grafit potiahnutý karbidom kremíka, majú tendenciu sublimovať pri týchto vysokých teplotách, čo narušuje proces epitaxie. Tento problém však účinne rieši CVD karbid tantalu (TaC), ktorý odoláva teplotám až do 2300 stupňov Celzia a ponúka dlhšiu životnosť. Ak chcete preskúmať viac o našich pokročilých riešeniach, obráťte sa na spoločnosť Semicera's Carbid tantal (TaC) Coating Planetary Plate.

Pošlite nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

Semicera poskytuje špecializované povlaky karbidu tantalu (TaC) pre rôzne komponenty a nosiče.Popredný proces povlakovania Semicera umožňuje povlakom z karbidu tantalu (TaC) dosiahnuť vysokú čistotu, stabilitu pri vysokej teplote a vysokú chemickú toleranciu, čím sa zlepšuje kvalita produktu kryštálov SIC/GAN a vrstiev EPI (Grafitom potiahnutý TaC susceptor) a predĺženie životnosti kľúčových komponentov reaktora. Použitie povlaku karbidu tantalu TaC má vyriešiť problém s okrajmi a zlepšiť kvalitu rastu kryštálov a Semicera prelomovo vyriešila technológiu povlakovania karbidu tantalu (CVD), čím dosiahla medzinárodnú pokročilú úroveň.

Po rokoch vývoja si Semicera podmanila technológiuCVD TaCspoločným úsilím oddelenia výskumu a vývoja. Poruchy sa ľahko vyskytujú v procese rastu doštičiek SiC, ale po použitíTaC, rozdiel je značný. Nižšie je uvedené porovnanie doštičiek s a bez TaC, ako aj častí Simicera pre rast monokryštálov.

Vysokoúčinný povlak z karbidu tantalu_ zlepšuje efektivitu priemyselnej výroby a znižuje náklady na údržbu Odporúčaný obrázok

Tac časť pre rast monokryštálov

Povlak karbidu tantalu proti opotrebeniu_ Chráni zariadenie pred opotrebovaním a koróziou Odporúčaný obrázok

Grafit s krúžkom potiahnutým TaC

s a bez TaC

Po použití TaC (vpravo)

Navyše, Semicera'sProdukty potiahnuté TaCvykazujú dlhšiu životnosť a väčšiu odolnosť voči vysokým teplotám v porovnaní sSiC povlaky.Laboratórne merania preukázali, že našeTaC povlakymôže nepretržite fungovať pri teplotách až do 2300 stupňov Celzia po dlhú dobu. Nižšie uvádzame niekoľko príkladov našich vzoriek: