Rameno na manipuláciu s oblátkamije kľúčové zariadenie používané v procese výroby polovodičov na manipuláciu, prenos a polohovanieoblátky. Zvyčajne sa skladá z robotického ramena, chápadla a riadiaceho systému s možnosťou presného pohybu a polohovania.Ramená na manipuláciu s oblátkamisú široko používané v rôznych prepojeniach vo výrobe polovodičov, vrátane procesných krokov, ako je vkladanie plátku, čistenie, nanášanie tenkých vrstiev, leptanie, litografia a kontrola. Jeho presnosť, spoľahlivosť a schopnosti automatizácie sú nevyhnutné na zabezpečenie kvality, efektívnosti a konzistentnosti výrobného procesu.
Medzi hlavné funkcie ramena na manipuláciu s plátkami patria:
1. Prenášanie plátkov: Rameno na manipuláciu s plátkami je schopné presne prenášať plátky z jedného miesta na druhé, ako je napríklad odoberanie plátkov zo skladovacieho regálu a ich umiestnenie do zariadenia na spracovanie.
2. Umiestnenie a orientácia: Rameno na manipuláciu s plátkami je schopné presne umiestniť a orientovať plátok, aby sa zabezpečilo správne zarovnanie a poloha pre následné operácie spracovania alebo merania.
3. Upínanie a uvoľňovanie: Ramená na manipuláciu s plátkami sú zvyčajne vybavené chápadlami, ktoré môžu plátky bezpečne upnúť a v prípade potreby ich uvoľniť, aby sa zabezpečil bezpečný prenos plátkov a manipulácia s nimi.
4. Automatizované riadenie: Rameno na manipuláciu s plátkami je vybavené pokročilým riadiacim systémom, ktorý dokáže automaticky vykonávať vopred určené akčné sekvencie, zlepšiť efektivitu výroby a znížiť ľudské chyby.
Vlastnosti a výhody
1.Presné rozmery a tepelná stabilita.
2.Vysoká špecifická tuhosť a vynikajúca tepelná rovnomernosť, dlhodobé používanie nie je ľahké ohýbať deformáciu.
3.Má hladký povrch a dobrú odolnosť proti opotrebeniu, takže bezpečne manipuluje s čipom bez kontaminácie časticami.
4.merný odpor karbidu kremíka 106-108Ω, nemagnetický, v súlade s požiadavkami špecifikácie anti-ESD; Dokáže zabrániť hromadeniu statickej elektriny na povrchu čipu.
5. Dobrá tepelná vodivosť, nízky koeficient rozťažnosti.
