Doštička z karbidu kremíkaje vyrobený z vysoko čistého kremíkového prášku a vysoko čistého uhlíkového prášku ako surovín a kryštál karbidu kremíka sa pestuje metódou fyzického prenosu pár (PVT) a spracováva sa nadoštička z karbidu kremíka.
① Syntéza surovín.Kremíkový prášok s vysokou čistotou a uhlíkový prášok s vysokou čistotou sa zmiešali podľa určitého pomeru a častice karbidu kremíka sa syntetizovali pri vysokej teplote nad 2 000 ℃.Po drvení, čistení a iných procesoch sa pripravujú vysoko čisté práškové suroviny karbidu kremíka, ktoré spĺňajú požiadavky na rast kryštálov.
② Rast kryštálov.Použitím vysoko čistého prášku SIC ako suroviny bol kryštál pestovaný metódou fyzického prenosu pár (PVT) pomocou samostatne vyvinutej pece na rast kryštálov.
③ spracovanie ingotov.Získaný kryštálový ingot karbidu kremíka bol orientovaný rôntgenovým monokryštálovým orientátorom, potom rozomletý a valcovaný a spracovaný na kryštál karbidu kremíka so štandardným priemerom.
④ Rezanie kryštálov.Pomocou viacriadkového rezacieho zariadenia sa kryštály karbidu kremíka režú na tenké plechy s hrúbkou nie väčšou ako 1 mm.
⑤ Brúsenie triesok.Oblátka je brúsená na požadovanú rovinnosť a drsnosť pomocou diamantových brúsnych kvapalín rôznych veľkostí častíc.
⑥ Leštenie triesok.Leštený karbid kremíka bez poškodenia povrchu bol získaný mechanickým leštením a chemicko-mechanickým leštením.
⑦ Detekcia čipu.Použite optický mikroskop, röntgenový difraktometer, mikroskop atómovej sily, bezkontaktný tester odporu, tester rovinnosti povrchu, komplexný tester povrchových defektov a ďalšie nástroje a vybavenie na zistenie hustoty mikrotubulov, kvality kryštálov, drsnosti povrchu, odporu, deformácie, zakrivenia, zmena hrúbky, povrchový škrabanec a ďalšie parametre doštičky z karbidu kremíka.Podľa toho sa určuje kvalitatívna úroveň čipu.
⑧ Čistenie čipov.Leštiaci plech z karbidu kremíka sa vyčistí čistiacim prostriedkom a čistou vodou, aby sa odstránila zvyšková leštiaca kvapalina a iné povrchové nečistoty na leštiacom plechu, a potom sa doštička vyfúkne a pretrepe do sucha dusíkom s ultra vysokou čistotou a sušiacim strojom;Doštička je zapuzdrená v škatuli z čistého plechu v superčistej komore, aby sa vytvorila doštička z karbidu kremíka pripravená na použitie.
Čím väčšia je veľkosť čipu, tým ťažšia je zodpovedajúca technológia rastu a spracovania kryštálov a čím vyššia je efektívnosť výroby nadväzujúcich zariadení, tým nižšie sú jednotkové náklady.
Čas odoslania: 24. novembra 2023