SOI oblátky

Stručný opis:

Oblátka SOI je sendvičová štruktúra s tromi vrstvami;Vrátane vrchnej vrstvy (vrstva zariadenia), stredu uloženej kyslíkovej vrstvy (pre izolačnú vrstvu SiO2) a spodného substrátu (hromadný kremík).Oblátky SOI sa vyrábajú metódou SIMOX a technológiou spájania plátkov, ktorá umožňuje tenšie a presnejšie vrstvy zariadenia, rovnomernú hrúbku a nízku hustotu defektov.

Pošlite nám e-mail

Detail produktu

Štítky produktu

SOI oblátky (1)

Oblasť aplikácie

1. Vysokorýchlostný integrovaný obvod

2. Mikrovlnné zariadenia

3. Vysokoteplotný integrovaný obvod

4. Silové zariadenia

5. Integrovaný obvod s nízkym výkonom

6. MEMS

7. Nízkonapäťový integrovaný obvod

Položka		Argument
Celkovo	Priemer plátku 晶圆尺寸 (mm)	50/75/100/125/150/200mm±25um
	Luk/Warp 翘曲度(	<10um
	Častice 颗粒度(	0,3 um < 30 ea
	Plochy/Zárez 定位边/定位槽	Flat alebo Notch
	Vylúčenie okrajov 边缘去除 (mm)	/
Vrstva zariadenia 器件层	Typ na vrstve zariadenia/Dopant 器件层掺杂类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	Orientácia na úrovni zariadenia 器件层晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Hrúbka vrstvy zariadenia 器件层厚度 (um)	0,1 ~ 300 um
	Odolnosť na vrstve zariadenia 器件层电阻率 (ohm•cm)	0,001 ~ 100 000 ohm-cm
	Častice na vrstve zariadenia 器件层颗粒度(	<30ea@0.3
	Zariadenie Layer TTV 器件层TTV(	<10um
	Dokončenie vrstvy zariadenia 器件层表面处理	Leštené
BOX	Hrúbka pochovaného tepelného oxidu 埋氧层厚度 (um)	50 nm (500 Á) ~ 15 um
Vrstva rukoväte 衬底	Rukoväť typu oblátky/Dopant 衬底层类型	N-Type/P-Type B/ P/ Sb / As
	Orientácia rukoväte oblátky 衬底晶向	<1-0-0> / <1-1-1> / <1-1-0>
	Rukoväť s odporom plátku 衬底电阻率 (ohm•cm)	0,001 ~ 100 000 ohm-cm
	Hrúbka oblátky rukoväte 衬底厚度 (um)	> 100 um
	Povrchová úprava oblátky rukoväte 衬底表面处理	Leštené
Oblátky SOI cieľových špecifikácií je možné prispôsobiť podľa požiadaviek zákazníka.