Semicera'sSiC lopatkysú navrhnuté pre minimálnu tepelnú rozťažnosť, poskytujú stabilitu a presnosť v procesoch, kde je rozmerová presnosť kritická. Vďaka tomu sú ideálne pre aplikácie, kdeoblátkysú vystavené opakovaným cyklom zahrievania a chladenia, pretože čln si zachováva svoju štrukturálnu integritu a zabezpečuje konzistentný výkon.
Zahŕňa Semicera'sdifúzne lopatky z karbidu kremíkado vašej výrobnej linky zvýši spoľahlivosť vášho procesu vďaka svojim vynikajúcim tepelným a chemickým vlastnostiam. Tieto lopatky sú ideálne pre difúzne, oxidačné a žíhacie procesy, čím zaisťujú, že s doštičkami sa bude v každom kroku zaobchádzať opatrne a presne.
Inovácia je jadrom spoločnosti SemiceraSiC pádlodizajn. Tieto lopatky sú prispôsobené tak, aby bez problémov zapadli do existujúceho polovodičového zariadenia a poskytli zvýšenú efektivitu manipulácie. Ľahká konštrukcia a ergonomický dizajn nielen zlepšujú prepravu plátkov, ale tiež znižujú prevádzkové prestoje, čo vedie k zefektívneniu výroby.
| Fyzikálne vlastnosti rekryštalizovaného karbidu kremíka | |
| Nehnuteľnosť | Typická hodnota |
| Pracovná teplota (°C) | 1600 °C (s kyslíkom), 1700 °C (redukujúce prostredie) |
| obsah SiC | > 99,96 % |
| Voľný obsah Si | < 0,1 % |
| Objemová hmotnosť | 2,60-2,70 g/cm3 |
| Zjavná pórovitosť | < 16 % |
| Pevnosť v tlaku | > 600 MPa |
| Pevnosť v ohybe za studena | 80-90 MPa (20 °C) |
| Pevnosť v ohybe za tepla | 90-100 MPa (1400 °C) |
| Tepelná rozťažnosť pri 1500°C | 4,70 10-6/°C |
| Tepelná vodivosť pri 1200°C | 23 W/m•K |
| Modul pružnosti | 240 GPa |
| Odolnosť voči tepelným šokom | Mimoriadne dobré |
