Popis
Pri aplikácii zachovávame veľmi úzke tolerancieSiC povlak, s použitím vysoko presného obrábania na zabezpečenie jednotného profilu susceptora. Vyrábame aj materiály s ideálnymi vlastnosťami elektrického odporu pre použitie v indukčne vyhrievaných systémoch. Všetky hotové komponenty sú dodávané s certifikátom čistoty a rozmerovej zhody.
Naša spoločnosť poskytujeSiC povlakprocesné služby metódou CVD na povrchu grafitu, keramiky a iných materiálov tak, že špeciálne plyny s obsahom uhlíka a kremíka reagujú pri vysokej teplote za vzniku vysoko čistých molekúl SiC, molekúl usadených na povrchu poťahovaných materiálov, tvoriacich ochrannú vrstvu SIC. Vytvorený SIC je pevne spojený s grafitovou základňou, čo dáva grafitovej základni špeciálne vlastnosti, vďaka čomu je povrch grafitu kompaktný, bez pórovitosti, odolný voči vysokej teplote, korózii a oxidácii.
Proces CVD poskytuje extrémne vysokú čistotu a teoretickú hustotuSiC povlakbez pórovitosti. Navyše, keďže karbid kremíka je veľmi tvrdý, dá sa vyleštiť do zrkadlového povrchu.CVD povlak z karbidu kremíka (SiC).priniesol niekoľko výhod vrátane ultra vysokej čistoty povrchu a extrémnej odolnosti proti opotrebovaniu. Pretože potiahnuté produkty majú skvelý výkon vo vysokom vákuu a pri vysokej teplote, sú ideálne pre aplikácie v polovodičovom priemysle a inom ultračistom prostredí. Poskytujeme tiež produkty z pyrolytického grafitu (PG).
Hlavné vlastnosti
1. Odolnosť proti oxidácii pri vysokej teplote:
odolnosť proti oxidácii je stále veľmi dobrá, keď je teplota až 1600 C.
2. Vysoká čistota: vyrobená chemickou depozíciou pár za podmienok vysokoteplotnej chlorácie.
3. Odolnosť proti erózii: vysoká tvrdosť, kompaktný povrch, jemné častice.
4. Odolnosť proti korózii: kyselinám, zásadám, soliam a organickým činidlám.
Hlavné špecifikácie povlakov CVD-SIC
| SiC-CVD | ||
| Hustota | (g/cc) | 3.21 |
| Pevnosť v ohybe | (Mpa) | 470 |
| Tepelná rozťažnosť | (10-6/K) | 4 |
| Tepelná vodivosť | (W/mK) | 300 |
Aplikácia
CVD povlak z karbidu kremíka už bol aplikovaný v polovodičovom priemysle, ako je MOCVD tácka, RTP a oxidová leptacia komora, pretože nitrid kremíka má veľkú odolnosť proti tepelným šokom a dokáže odolať vysokoenergetickej plazme.
- Karbid kremíka je široko používaný v polovodičoch a povlakoch.
Aplikácia
Schopnosť zásobovania:
10 000 kusov/kusov za mesiac
Balenie a dodanie:
Balenie: Štandardné a silné balenie
Poly bag + krabica + kartón + paleta
Port:
Ningbo/Shenzhen/Šanghaj
Dodacia lehota:
| Množstvo (kusy) | 1 – 1000 | >1000 |
| Odhad. čas (dni) | 30 | Na vyjednávanie |
